描述：韩国DK-LOK半导体高纯隔膜阀洁净手动直通阀
产地：MADE IN KOREA 韩国原厂原装制造
类目归属：半导体产品 → 洁净隔膜阀系列
完整型号：VBC
产品全称：半导体级高纯 VBC 系列手动直通隔膜阀

韩国DK-LOK半导体高纯隔膜阀洁净手动直通阀

产地：MADE IN KOREA 韩国原厂原装制造

类目归属：半导体产品 → 洁净隔膜阀系列

完整型号：VBC

产品全称：半导体级高纯 VBC 系列手动直通隔膜阀

韩国DK-LOK半导体高纯隔膜阀洁净手动直通阀

工作原理

纯手动机械驱动控制阀门，无电动 / 气动外接驱动，依靠人工旋动手轮实现全行程精准控制：

顺时针旋紧：阀杆下压隔膜片，紧密贴合密封阀座，阀门关断，实现管路气密锁闭；

逆时针旋松：隔膜片回弹抬升，流道贯通，阀门开启介质流通；

可实现微行程精准调节，兼顾全关、微调、全开多档位控制，操作行程刻度可视化，每次开关位置可精准复现。

五、原厂完整技术参数

阀体材质：一体精密锻造 316L 不锈钢，结构强度高，抗应力腐蚀、耐机械冲击，适配高压工况。

洁净处理等级：整机EP 级电解抛光，内壁粗糙度 Ra≤0.6μm，原厂超纯水洁净清洗、百级洁净车间组装、全流程氦检气密测试、真空洁净独立封装，半导体 6N（99.9999%）超高纯气体标准，无颗粒析出、无气体吸附、无二次管路污染。

隔膜密封材质：高纯PCTFE（三氟氯树脂） 专用隔膜，耐绝大多数半导体腐蚀性特种气体（含氟蚀刻气、MO 源金属有机前驱体、酸性工艺气体）、耐高低温、抗老化、密封寿命极长，百万次启闭密封性能不衰减，无泄漏风险。

压力等级：最高工作耐压 6000 psig（413bar），覆盖半导体特气系统全高低压工况。

工作温度范围：-40℃ ~ +200℃，宽温域适配，兼容低温气源、高温工艺管路全场景环境。

适配口径：覆盖半导体全常用小口径规格 1/8"、1/4"、3/8"、1/2"。

接口形式：标准外螺纹接口，可直接转接双卡套接头、对焊管接头、集成气路面板焊接接口，全管路通用适配。

密封性能：零气泡级气密关断，无外漏、无内泄杜绝特气泄漏、串气安全隐患。

核心产品优势

隔膜阀专属洁净优势

无填料函、无阀杆外露泄漏结构，隔绝外界环境气体渗入，内部低死区流道设计，气体无残留、置换，是半导体超纯特气管路通断阀结构。

可视化精准操作

顶部手轮自带开闭刻度与位置指针，阀门状态一目了然，操作行程可精准复现，避免人工误操作。

全材强耐腐蚀性

阀体、隔膜密封全部适配半导体高危有毒、腐蚀性特种工艺气体，适配范围远超普通针型阀、球阀。

结构紧凑通用性强

方体阀体体积小巧适配集成气柜、特气面板、机台内部狭小安装空间，水平、垂直管路均可安装。

长寿命高稳定

无易损活动零部件，隔膜结构抗疲劳性能优异，长期使用密封不失效、无阀件老化故障，维护成本极低。