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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国DK-LOK手动隔膜阀半导体气柜主路阀
二通直通一体式锻造阀体,两端为光管对焊式接口(无外螺纹,直接对接洁净不锈钢管路焊接),方体一体化不锈钢阀体结构,刚性、抗形变。
顶部为深绿色防滑手动操作手轮,顶面带 OPEN/CLOSE 开闭状态刻度标识与位置指针,阀门行程可视化,可精准判断开闭程度,无需额外工具手动旋拧操作。
阀体本体激光刻印 DK-LOK 品牌、316L 材质、洁净等级、产品溯源编号。
内部核心结构
原厂高纯软密封隔膜阀核心结构:无填料函阀杆结构、无外露泄漏点,杜绝外界杂质渗入、管路气体外漏;内部流线型低死区流道设计,无气体滞留死角,气体置换 适配半导体超高纯气体严苛洁净要求。
内部阀杆驱动结构稳定,手动旋拧行程精准可控,兼顾全开、微调节流、全关锁闭多档位精准控制。
韩国DK-LOK手动隔膜阀半导体气柜主路阀工作原理
纯手动机械驱动阀门,无电动 / 气动外接驱动,依靠人工旋动手轮实现全行程精准控制:
逆时针旋松手轮:阀杆抬升,带动高纯隔膜片回弹抬起,内部流道贯通,管路介质顺畅导通;
顺时针旋紧手轮:阀杆下压隔膜片,紧密贴合密封阀座,实现零气泡级气密关断,阻断管路气路;
可实现中间行程微调节流控制,精准调控管路气体流量,手轮自带行程刻度,操作位置可精准复现。
五、原厂完整技术参数
阀体材质:一体精密锻造 316L 不锈钢,结构强度高,抗应力腐蚀、抗高压形变、耐机械冲击性能优异。
洁净处理等级:全阀体EP 级电解抛光,内壁粗糙度 Ra≤0.6μm,原厂超纯水洁净清洗、百级洁净车间组装、全流程氦检气密测试、真空洁净独立封装,满足半导体 6N(99.9999%)及以上超高纯气体标准,无颗粒析出、无气体吸附、无二次管路污染。
隔膜密封材质:高纯 PCTFE(三氟氯乙烯) 专用隔膜,耐绝大多数半导体腐蚀性特种工艺气体(含氟蚀刻气、MO 源金属有机前驱体、酸性工艺气体),耐高低温、抗老化,百万次启闭密封性能不衰减,长期使用无泄漏。
内部阀杆弹簧:Elgiloy 钴基合金耐腐蚀弹簧,弹力恒定无疲劳衰减,启闭寿命长。
压力等级:最高工作耐压 6000 psig(413bar),覆盖半导体中大管径主气路全高低压工况。
工作温度范围:-40℃ ~ +200℃,宽温域适配低温气源、高温工艺管路全场景环境。
接口规格:25mm 外径光管对焊接口,专为中大管径 BA/EP 级洁净不锈钢管路焊接设计,焊接对接密封性强、流道衔接顺滑无台阶。
密封性能:零气泡级气密关断,无内泄、无外漏,保障高危特气系统运行安全。
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