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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国DK-LOK半导体超高纯大流量减压阀
旋转顶部调节手轮,设定下游目标输出压力;
上游超高纯高压气体进入阀体,通过大流量优化内腔流道完成减压;
内部大行程合金膜片实时感应出口压力,自动反馈调节阀口开合度,实现动态稳压补偿;
无论上游进气压力波动、下游流量变化,出口压力均保持恒定无波动,适配半导体高精度供气要求;
调节完成按压手轮锁紧结构,锁定压力设定值,长期运行无偏移。
韩国DK-LOK半导体超高纯大流量减压阀产品优势(半导体 / UHP 场景核心价值)
UHP 超高纯级材质
全 316L 不锈钢一体锻造,无油洁净清洗,低析出、低吸附,适配半导体特气、超高纯气体输送,无颗粒污染风险。
大流量专属性能
内腔流道专属强化设计,大流量工况下依旧保持稳定稳压,无压降、无迟滞,适配半导体厂区主干特气、大流量工艺供气。
全介质耐腐兼容
316L 不锈钢 + 耐腐密封组件,兼容氧气、氢气、腐蚀性特种气体、混合气体全场景。
双版本灵活选型
无表裸阀(适配设备集成)、双压力表版(适配现场调压站)双版本,覆盖全场景安装需求。
防误触锁紧结构
按压式锁死设计,隔绝工业环境振动、外力干扰,压力设定长期稳定不漂移,适配无人值守连续运行。
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