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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国DK-LOK双级超高纯减压阀
工作原理(双级减压核心优势)
纯机械自力式两级分步减压稳压,无外接电源:
一级减压(粗减压):上游高压气源进入第一级腔体,首先完成大幅度粗减压,将高压气源降至中间过渡稳定压力;
二级稳压(精调压):过渡压力气体进入第二级独立腔体,通过内部独立膜片精准调压,输出至下游目标设定压力;
独立双向补偿:两级腔体各自独立压力反馈,上游源头压力衰减、下游流量波动,均由二级腔体独立补偿稳压;
最终实现输出压力恒定零波动,满足半导体超高纯气体、精密仪器超稳定供气严苛要求。
韩国DK-LOK双级超高纯减压阀核心产品优势
双级结构顶级稳压精度
两级分步减压 + 独立双腔体稳压,解决单级减压阀上游压力衰减导致的输出漂移问题,是半导体特气供气最高等级稳压方案。
UHP 全流程超高纯洁净
整机 316L 不锈钢 EP 电解抛光,无油无尘洁净制程,低析出低吸附,适配晶圆厂超高纯、腐蚀性特种工艺气体。
全介质强耐兼容性
阀体 + 密封全高纯耐腐材质,兼容半导体全品类特气、酸性蚀刻气体、有毒特种气体全场景。
双安装形态灵活适配
立式、卧式双结构版本,适配特气柜、气路面板、设备内嵌等全场景安装空间需求。
长周期免维护稳定运行
全结构无易损件,双级腔体结构冗余稳定,长周期连续工况密封无衰减、压力无漂移
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