描述：韩国GST高精度工业冷水机传感器
SODA-C 采用 R744（CO₂）天然冷媒，ODP=0、GWP 仅 1，相比传统冷媒大幅降低碳排放，符合全球半导体产线碳中和、绿色制造的发展趋势，是新一代环保型温控解决方案。

韩国GST高精度工业冷水机传感器

型号全称：SODA-C（GST SODA 系列环保温控机）

品牌：韩国 GST（专注半导体温控设备）

温度范围：-30℃ ~ +70℃

控温精度：±0.1℃

制冷能力：13kW @ -10℃

冷媒：R744（CO₂，天然环保冷媒）

适配冷却液：Fluorinert (FC-3283)、SF-10（可定制）

电源规格：208V, 3P3W PE, 60Hz，断路器 50A

重量：320kg

典型应用：半导体刻蚀 / 沉积设备、面板制造、光伏工艺设备的精密温控

韩国GST高精度工业冷水机传感器

1. 环保 CO₂冷媒，适配半导体行业碳中和趋势

SODA-C 采用 R744（CO₂）天然冷媒，ODP=0、GWP 仅 1，相比传统冷媒大幅降低碳排放，符合全球半导体产线碳中和、绿色制造的发展趋势，是新一代环保型温控解决方案。

2. ±0.1℃超高控温精度，保障工艺一致性

设备搭载高精度温度传感器与智能 PID 控制算法，控温精度可达 ±0.1℃，温度波动极小，可稳定控制半导体工艺设备的温度，避免温度偏差导致的工艺波动，保障产品良率与生产一致性。

3. 宽温域设计，覆盖多场景工艺需求

-30℃~+70℃的宽温度范围，可同时满足深冷、常温、高温等不同工艺的温控需求，适配半导体刻蚀、沉积、清洗等多种工艺设备，一台设备即可覆盖产线多种温控场景，降低设备采购成本。

4. 13kW 强劲制冷能力，适配大功率设备冷却

在 - 10℃工况下可提供 13kW 的稳定制冷能力，可满足大功率半导体工艺设备的冷却需求，即使长时间连续运行，也能保持稳定的制冷效果，无衰减、无漂移，保障产线稳定运行。

5. 专用冷却液兼容，适配半导体工艺环境

支持 Fluorinert (FC-3283)、SF-10 等半导体行业专用冷却液，也可根据客户工艺需求定制其他介质；设备采用防泄漏设计，避免冷却液污染工艺设备，同时配备过滤系统，延长冷却液使用寿命，降低维护成本。