描述：韩国大型工业级派瑞林气相沉积镀膜系统
本产品为韩国 FEMTOSCIENCE 品牌 LAVIDA 1000 系列大型工业级派瑞林（Parylene）气相沉积镀膜系统，是专为大规模半导体、微电子、医疗器械、精密电子生产设计的高产能精密真空镀膜设备。

韩国大型工业级派瑞林气相沉积镀膜系统

产品介绍

本产品为韩国 FEMTOSCIENCE 品牌 LAVIDA 1000 系列大型工业级派瑞林（Parylene）气相沉积镀膜系统，是专为大规模半导体、微电子、医疗器械、精密电子生产设计的高产能精密真空镀膜设备。

设备采用成熟的派瑞林气相沉积工艺，原料在蒸发器中受热蒸发，进入三区加热裂解炉后被分解为活性单体，在大型真空腔体中均匀沉积于工件表面，形成一层无针孔、均匀致密的高分子防护涂层。全程在高真空环境下进行，无溶剂污染，涂层厚度可精准控制，能显著提升工件的防潮、绝缘、防腐蚀、生物相容性与耐候性。

设备搭载多步程序控温蒸发器（最高 200℃，10 步控温）与最高 900℃三区加热裂解炉，可实现原料蒸发与裂解过程的精准控制，保证大批量生产时镀膜质量的一致性；镀膜腔体内径 950× 长度 1200mm，配套专用样品工装，可支持最多 50 片 12 英寸晶圆同时装载处理，产能远超标准机型；支持手动 / 自动双模式操作，可一键运行预设量产工艺，也可分步手动调试研发工艺，兼顾稳定性与灵活性。广泛应用于半导体晶圆、大批量 PCB 线路板、精密电子元件、医疗器械耗材、传感器等产品的防护涂层制备，解决工件防潮绝缘差、易腐蚀、生物相容性不足等行业痛点。

韩国大型工业级派瑞林气相沉积镀膜系统产品核心特性

韩国原厂大型派瑞林工艺技术

源自韩国 FEMTOSCIENCE 专业镀膜设备品牌，成熟的气相沉积工艺技术，镀膜均匀性与致密度优异，是大规模工业生产高可靠性设备。

超大容积工业级镀膜腔体

内径 950× 长度 1200mm 大型腔体，支持多件工件同时装载处理，在保证镀膜均匀性的同时大幅提升生产效率，适配大规模量产需求。

高产能 12 英寸晶圆专用设计

配套专用样品工装，可支持最多 50 片 12 英寸晶圆同时装载，是半导体行业大规模生产的理想选择，大幅降低单位工件镀膜成本。

三区裂解炉 + 多步控温蒸发器

最高 900℃三区加热裂解炉，实现派瑞林单体均匀裂解；最高 200℃、10 步程序控温蒸发器，可精准控制原料蒸发速率，适配不同类型的派瑞林材料。

手动 / 自动双模式灵活操作

支持全自动程序运行与手动分步控制，可一键调用预设量产工艺，也可分步手动调试研发工艺，兼顾了大规模量产稳定性与研发调试的灵活性。