描述：韩国半导体工艺气体过滤器滤芯
采用高精度烧结金属滤芯，可去除气体中 0.003μm 级的颗粒物、杂质，为半导体刻蚀、沉积等工艺提供超洁净的工艺气体，避免杂质导致的工艺波动与产品良率下降，是高纯气体系统的关键防护部件。

韩国半导体工艺气体过滤器滤芯

0.003μm 级超高纯过滤：可去除气体中纳米级颗粒物，保障半导体工艺气体洁净度

耐腐蚀烧结金属材质：采用 316L / 哈氏合金烧结滤芯，兼容腐蚀性工艺气体

半导体级洁净工艺：EP/BA 级表面处理，无析出物，满足高洁净产线要求

长寿命低压力降设计：优化流道结构，压降低、流量大，降低能耗与维护频率

适配多种工艺场景：可用于半导体刻蚀 / 沉积设备、气体分配柜、MFC 保护等场景

韩国半导体工艺气体过滤器滤芯

型号全称：HF-003（0.003μm 标准款）

品牌：韩国 Hans Corporation（한스코퍼레이션）

过滤精度：0.003μm（可选 0.01μm、0.05μm 等规格）

滤芯材质：316L 不锈钢烧结（可选哈氏合金、镍基合金）

工作压力：最高 10MPa（适配高压工艺气体系统）

工作温度：-40℃ ~ +400℃（根据材质与工艺可选）

适配气体：高纯氮气、氩气、氢气、腐蚀性工艺气体等

典型应用：半导体晶圆制造、面板生产、光伏工艺设备的气体过滤保护

1. 纳米级超高纯过滤，保障工艺气体洁净度

采用高精度烧结金属滤芯，可去除气体中 0.003μm 级的颗粒物、杂质，为半导体刻蚀、沉积等工艺提供超洁净的工艺气体，避免杂质导致的工艺波动与产品良率下降，是高纯气体系统的关键防护部件。

2. 耐腐蚀耐高压，适配半导体严苛工况

滤芯采用 316L 不锈钢或耐蚀合金材质，经过高温烧结工艺，具备优异的耐腐蚀性与机械强度，可长期稳定工作在腐蚀性工艺气体、高压、高低温等复杂工况下，使用寿命长，维护成本低。

3. 低压力降设计，降低产线运营成本

优化的滤芯结构与流道设计，在保证超高过滤精度的同时，实现低压力降、大流量的性能表现，减少气体输送过程中的能耗损失，降低产线运行成本，同时避免因压降过高导致的工艺压力不稳定问题。

4. 半导体级洁净处理，无析出物污染

滤芯经过 EP/BA 级电解抛光与超净清洗工艺，表面粗糙度低，无金属析出物，可满足半导体高洁净产线的严苛要求，避免滤芯本身对工艺气体造成二次污染，保障工艺的一致性与稳定性。

5. 多规格定制适配，灵活满足产线需求

支持定制不同过滤精度、尺寸、材质与接口形式的滤芯，可直接适配各类半导体设备的气体过滤器、气体分配柜、质量流量控制器（MFC）等部件，是产线备件更换与设备升级的理想选择。