描述：半导体设备专用高速排气过滤器
采用多褶式滤芯结构，有效过滤面积大，可实现高流量、低压降的排气过滤，适配半导体设备快速抽真空、高速排气的工艺需求，避免因过滤器阻力过大影响设备抽速。

半导体设备专用高速排气过滤器

代表型号：HSVF 系列（High-Speed Vent Filter）

型号示例：HSVF-005-1/4NPT

品牌：可按实际品牌标注（如韩国 Hans、日本精线等厂商均有同类型号）

过滤精度：0.05μm（可选 0.01μm、0.1μm）

滤芯材质：316L 不锈钢褶皱滤芯（可选哈氏合金 / 镍基合金）

接口形式：1/4" NPT 外螺纹（可定制 VCR、法兰、KF 等接口）

工作压力：-0.1MPa（真空）~ 1.6MPa

工作温度：-40℃ ~ +300℃

典型应用：半导体刻蚀 / 沉积设备、真空镀膜机、离子注入机的排气 / 真空管路过滤，保护真空泵免受工艺副产物污染

半导体设备专用高速排气过滤器

1. 高流量低压降，适配高速排气工艺

采用多褶式滤芯结构，有效过滤面积大，可实现高流量、低压降的排气过滤，适配半导体设备快速抽真空、高速排气的工艺需求，避免因过滤器阻力过大影响设备抽速。

2. 耐腐蚀金属滤芯，适配复杂工艺工况

滤芯采用 316L 不锈钢或耐蚀合金材质，经过高温烧结 / 焊接工艺，具备优异的耐腐蚀性与机械强度，可长期稳定工作在腐蚀性工艺气体、含粉尘 / 副产物的排气环境中，使用寿命长，减少停机维护频率。

3. 高效过滤保护，延长真空泵寿命

可有效去除排气中的工艺副产物、微粒与杂质，避免其进入真空泵造成磨损与污染，显著延长真空泵的使用寿命，降低产线设备维护成本与停机风险。

4. 半导体级洁净工艺，无二次污染

过滤器经过超净清洗与 EP/BA 级电解抛光处理，表面无毛刺、无金属析出物，可满足半导体高洁净产线的严苛要求，避免滤芯本身对工艺系统造成二次污染。

5. 多规格定制，适配各类设备

支持定制不同过滤精度、接口形式、尺寸与材质的过滤器，可直接适配各类半导体真空设备的排气管路，是原厂备件更换与设备升级的理想选择。