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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION德国普发高性能涡轮磁悬浮分子泵真空泵
五大核心产品优势
1. 超大抽速 + 超高真空,工业级性能
氮气抽速达1900 L/s,极限真空低至10⁻¹¹ mbar量级,兼顾大流量吞吐与真空度,匹配半导体、镀膜、高能物理等制程对真空环境的严苛要求。
2. 复合轴承技术,长寿命 + 免维护设计
采用永磁 + 陶瓷球复合轴承:高真空端无磨损永磁轴承,前级端耐老化陶瓷球轴承,无需电磁铁,设计寿命约 4 年,维护仅需 30 分钟现场更换轴承与油棉,大幅降低停机成本。
3. 全工况稳定运行,适配复杂工业环境
双防超速保护:通过 TÜV 莱茵认证,冗余安全设计,杜绝机械故障风险Pfeiffer 普旭。
宽温 / 防腐适配:标准款 5–40℃运行;2300C 防腐款适配腐蚀性气体(如卤素、酸碱蒸汽)。
安装灵活:支持 0°–90° 任意角度安装,适配狭小设备空间。
4. 集成化智能驱动,操作便捷 + 全程监控
标配TC 1200 控制器,集成驱动、保护与通讯功能:
一键启停、自诊断、温度 / 转速 / 压力实时监控。
支持 RS‑485 远程通讯,可接入工业 PLC 系统,实现自动化集群控制。
5. 德国原装品质,工业级可靠性与一致性
整机德国普发原厂制造,通过 UL 61010、Semi S2 等国际认证,泵体经转子动能冲击测试,在连续运行、高粉尘、电磁干扰环境下故障率极低,适配 24/7 工业连续生产场景Pfeiffer 普旭。
德国普发高性能涡轮磁悬浮分子泵真空泵典型应用场景
半导体行业:晶圆沉积、刻蚀、离子注入设备的高真空主泵。
真空镀膜:光学涂层、硬质涂层、金属化镀膜生产线的超高真空获得。
科研高能物理:同步辐射、粒子加速器、核聚变装置的超高真空系统。
工业制程:真空冶炼、热处理、焊接、冻干设备的大流量高真空应用。
分析仪器:质谱仪、电子显微镜、表面分析设备的超高真空核心部件。
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