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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION德国莱宝工业级超高真空设备分子泵
五大核心产品优势
1. 超大抽速 + 高前级耐压,工业高产能
1550 L/s 氮气抽速 + 0.5 mbar 前级耐压,支持更高前级压力下满负荷运行,前级泵配置可大幅简化,适配大面积镀膜、大型真空腔体等高气体负载场景。
2. 高强度铣削转子 + 宽公差设计,强耐粉尘长寿命
采用锻造高强度铝合金铣削转子,叶片间距公差更宽,抗粉尘、抗颗粒冲击能力强,适配镀膜、溅射等含微量粉尘的工艺;混合轴承设计,设计寿命约 4 万小时,免维护周期长,降低工业停机成本。
3. 集成驱动 + 任意角度安装,易集成省空间
泵体集成变频器与电源,无外置驱动单元,节省机柜空间;支持0°–360° 任意角度安装,适配复杂真空管路布局,简化系统设计,缩短安装调试周期。
4. 吹扫气接口 + 宽工况适配,适配严苛工业环境
标配轴承吹扫气接口,可通入氮气 / 氩气,防止工艺粉尘、蒸汽侵入轴承;支持 5–45℃宽温运行,风冷 / 水冷可选,耐受工业环境振动与温度波动,24/7 连续运行稳定可靠。
5. 德国原装品质 + 全程智能监控,工业级稳定
整机德国莱宝原厂制造,通过 UL 61010、Semi S2、TÜV 防超速认证;集成温度、转速、压力传感器,实时监控 + 自诊断 + 过热 / 过载保护,可接入 PLC 实现自动化控制,故障率极低,适配工业连续生产场景。
德国莱宝工业级超高真空设备分子泵典型应用场景
工业镀膜:大面积光学镀膜、平板显示器(FPD)镀膜、光伏电池镀膜、卷对卷(R2R)镀膜生产线。
大型科研设备:核聚变实验装置、空间模拟舱、大型粒子加速器、表面科学 UHV 系统。
半导体 / 电子:半导体刻蚀、沉积设备(大腔室)、真空焊接、真空封装生产线。
工业制程:真空热处理、大型真空检漏系统、航空航天部件真空测试、高真空材料制备设备。
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