描述：韩国 INNODIS气动自动阀半导体耐腐蚀隔膜阀
阀体与隔膜采用PFA（全氟烷氧基树脂），可长期耐受 HF、硝酸、硫酸、TMAH等强腐蚀药液，金属离子溶出极低，满足半导体高纯净度要求。

韩国 INNODIS气动自动阀半导体耐腐蚀隔膜阀

一、核心产品优势

PFA 高纯材质， 耐腐蚀

阀体与隔膜采用PFA（全氟烷氧基树脂），可长期耐受  HF、硝酸、硫酸、TMAH等强腐蚀药液，金属离子溶出极低，满足半导体高纯净度要求。

高洁净零泄漏，适配超净环境

无缝内壁、低颗粒释放，符合Class 100/ISO 5超净标准；Mega Lock 快接密封 + 隔膜零死区设计，开关无泄漏、无残留，杜绝工艺污染。

气动自动控制，适配自动化产线

气动驱动，支持PLC 远程信号，开关响应快、可高频次循环（可达500 万次 ），便于集成到半导体自动化设备。

宽温耐压，长期稳定可靠

工作温度0–120℃，适配湿法工艺冷热交替工况；中低压稳定运行，隔膜抗疲劳、寿命长，降低维护成本。

结构紧凑易安装维护

入珠式 / 外螺纹连接，安装快速；阀体一体化 ，便于在线清洗（CIP），减少停机时间。

二、韩国 INNODIS气动自动阀半导体耐腐蚀隔膜阀典型应用场景

半导体晶圆湿法工艺

晶圆清洗 / 蚀刻设备：HF、SC-1、SC-2、磷酸等药液输送与开关控制。

光刻 / 剥离工序：强氧化剂、有机溶剂回路的高纯流体控制。

超纯水与化学品输送系统

半导体厂  超纯水（UPW） 循环、高纯化学品集中供给 / 分配单元。

废液 / 废气处理：腐蚀性废水、酸碱废气喷淋管路的自动切断阀。

显示面板（LCD/OLED）工艺

玻璃基板蚀刻 / 清洗：ITO 蚀刻液、显影液（TMAH）、剥膜液管路控制。

光伏与新能源湿法制程

硅片制绒 / 清洗：HF/HNO₃混合酸、碱清洗液的精准开关与分流。

 化工与制药高纯流体

精细化工：高纯试剂、催化剂输送；制药：无菌缓冲液、高纯度溶剂管路（低溶出、无污染）。