描述：韩国 INNODIS气动自控阀
韩国 INNODIS（一诺迪思）Air Auto Valve 高纯 PFA 气动自控阀，专为半导体、显示面板、光伏等高纯湿法工艺设计。采用高纯 PFA 阀体 + 耐腐隔膜，耐受强酸强碱与有机溶剂；气动执行机构支持PLC 远程自动化控制，开关迅速、零泄漏、低颗粒释放，符合Class 100 超净环境要求。结构紧凑、安装维护便捷，广泛用于晶圆清洗 / 蚀刻、超纯水输送、

韩国 INNODIS气动自控阀

一、核心产品优势

高纯 PFA 材质，强耐腐蚀 + 低溶出

阀体 / 隔膜采用高纯 PFA，无金属接触，长期耐受HF、硝酸、硫酸、TMAH、磷酸等强腐蚀药液；金属离子析出极低，符合半导体Class 100/ISO 5 超净与 SEMI 标准。

气动自动控制，适配自动化产线

气动驱动（Air Auto Valve），支持PLC 远程信号，开关响应快、高频循环寿命500 万次 +，可无缝集成半导体自动化设备，适配高频次开关工况。

Mega Lock 密封 + 零泄漏，低颗粒无污染

专用Mega Lock 快接密封，开关零泄漏、无残留；镜面抛光内壁、低颗粒释放，死区极小，杜绝工艺交叉污染。

宽温耐压，长期稳定可靠

工作温度0–120℃，适配湿法工艺冷热交替；中低压稳定运行，隔膜抗疲劳、寿命长，降低维护成本与停机时间。

结构紧凑易安装，适配多场景

一体化阀体、标准化接口（入珠 / 扩口 / 外螺纹），即插即用；体积小、节省安装空间，便于CIP 在线清洗，适配高纯流体系统。

韩国 INNODIS气动自控阀

二、典型应用场景

半导体湿法工艺（核心）

晶圆清洗 / 蚀刻机台：HF、SC-1/SC-2、磷酸、TMAH 等药液开关 / 切断 / 分配控制。

化学品集中供给：高纯酸 / 碱 / 有机溶剂的支路切换、回路隔离、取样控制。

超纯水（UPW）/CMP 浆料：低吸附、低颗粒输送，保障制程良率。

显示面板（LCD/OLED）制程

玻璃基板ITO 蚀刻、显影、剥膜：TMAH、蚀刻液、清洗液的精准开关与分配。

光伏新能源湿法制程

硅片制绒 / 清洗：HF/HNO₃混合酸、碱清洗液的分流 / 切换 / 废液切断。

高纯化工与制药

精细化工：高纯试剂、催化剂无泄漏输送与隔离。

制药：无菌缓冲液、高纯溶剂无交叉污染流体控制。

废液 / 废气处理系统

腐蚀性废液管路、酸碱废气喷淋的自动切断与分流控制，保障系统安全