描述：韩国 INNODIS臭氧专用气动阀
韩国 INNODIS（一诺迪思）PFA 臭氧专用气动阀，专为半导体、显示面板、光伏等高纯臭氧湿法工艺研发。采用高纯 PFA 阀体 + 臭氧级专用隔膜，耐受高浓度臭氧强氧化，长期运行不老化、零泄漏；气动驱动适配 PLC 自动化控制，镜面抛光内壁低颗粒释放，符合 SEMI 超净标准。结构紧凑、安装维护便捷，广泛用于晶圆臭氧清洗、超纯水杀菌、面板 / 光伏制程臭

韩国 INNODIS臭氧专用气动阀 

韩国 INNODIS（一诺迪思）PFA 臭氧专用气动阀，专为半导体、显示面板、光伏等高纯臭氧湿法工艺研发。采用高纯 PFA 阀体 + 臭氧级专用隔膜，耐受高浓度臭氧强氧化，长期运行不老化、零泄漏；气动驱动适配 PLC 自动化控制，镜面抛光内壁低颗粒释放，符合 SEMI 超净标准。结构紧凑、安装维护便捷，广泛用于晶圆臭氧清洗、超纯水杀菌、面板 / 光伏制程臭氧控制等关键场景，保障高纯臭氧流体系统的纯净度、稳定性与安全性。

韩国 INNODIS臭氧专用气动阀 

一、核心产品优势

高纯 PFA 材质，耐臭氧强氧化 + 超低溶出

阀体与隔膜采用高纯 PFA（全氟烷氧基树脂），具备抗臭氧强氧化性，长期接触高浓度臭氧（O₃）不老化、不脆化、不龟裂；无金属接触设计，金属离子析出＜1ppb，符合半导体 SEMI F57/Class 1 超净标准，杜绝臭氧制程金属污染。

臭氧专用密封 + 零泄漏，长寿命抗疲劳

定制臭氧级 PFA 隔膜 + Mega Lock 专属密封结构，耐受臭氧长期侵蚀，开关零泄漏、无残留；气动驱动支持500 万次 + 高频循环，隔膜抗疲劳、耐老化，寿命是普通橡胶阀的10 倍 +，显著降低维护成本。

镜面抛光 ，低颗粒防污染

阀体内壁镜面抛光（Ra≤0.1μm），流路光滑、死区极小、，避免臭氧分解残留物堆积；低颗粒释放设计，满足半导体湿法 / 清洗制程 ** 微颗粒控制（≥0.1μm 颗粒＜1 个 / L）** 要求。

宽温耐压，适配臭氧严苛工况

工作温度0–120℃，适配臭氧水 / 臭氧气体冷热交替输送；工作压力0–0.6MPa，稳定匹配半导体臭氧水清洗、臭氧氧化等中低压制程，长期运行。

气动自动化适配，紧凑易安装维护

气动执行机构支持PLC 远程控制，开关响应快（＜0.5s），无缝集成半导体自动化产线；一体化紧凑阀体，标准化接口（入珠 / 扩口 / 外螺纹），即插即用，便于CIP 在线清洗，减少停机时间。

二、典型应用场景

半导体晶圆臭氧清洗（核心场景）

晶圆臭氧水（O₃/UPW）清洗机台：10–200ppm 高浓度臭氧水的开关、切断、回路切换控制，去除有机残留、颗粒与金属杂质。

臭氧氧化 / 光刻胶去除：臭氧混合药液的精准分配与流量控制，替代传统强酸制程，降低污染风险。

半导体化学品与超纯水系统

臭氧水集中供给系统：高纯臭氧水的支路分配、末端输送、取样控制，保障清洗制程稳定供应。

UPW 超纯水臭氧杀菌：超纯水回路臭氧杀菌单元的自动开关与隔离，抑制微生物滋生，维持水质高纯。

显示面板（LCD/OLED）制程

玻璃基板臭氧清洗 / 表面活化：高浓度臭氧水的多路切换与精准分配，提升基板附着力与清洗良率。

光伏新能源湿法制程

硅片臭氧制绒 / 清洗：臭氧水的分流、切换、废液切断控制，去除表面杂质，提升电池转换效率。

环保与高纯化工

半导体厂臭氧废气处理：臭氧尾气分解管路的自动切断与安全隔离，防止泄漏污染环境。

高纯化工臭氧氧化反应：高纯臭氧介质的无泄漏输送与过程控制，保障反应纯度与安全。