描述：日本 JTEKT高温洁净烘箱半导体晶圆烘烤炉
CLH-21CD 是日本 JTEKT Thermo Systems（原 KOYO Thermo）推出的高温洁净烘箱，专为半导体、光电、精密零部件等高洁净热处理场景设计。它通过耐热 HEPA 过滤器和强制热风循环系统，在高温环境下维持 Class 100（ISO 5）洁净度，可完成晶圆 / 玻璃基板烘烤、聚酰亚胺固化、退火等工艺，是洁净制程的核心设备。

日本 JTEKT高温洁净烘箱半导体晶圆烘烤炉

一、产品概述

CLH-21CD 是日本 JTEKT Thermo Systems（原 KOYO Thermo）推出的高温洁净烘箱，专为半导体、光电、精密零部件等高洁净热处理场景设计。它通过耐热 HEPA 过滤器和强制热风循环系统，在高温环境下维持 Class 100（ISO 5）洁净度，可完成晶圆 / 玻璃基板烘烤、聚酰亚胺固化、退火等工艺，是洁净制程的核心设备。

二、核心产品优势

Class 100 高洁净度，杜绝颗粒污染

搭载耐热高性能 HEPA 过滤器，温度稳定时炉内可维持 **Class 100（ISO 5）** 洁净度，有效过滤外界颗粒，满足半导体、精密部件的高洁净热处理要求。

宽温域均匀控温，适配多工艺需求

最高工作温度可达 450~530℃（依型号配置不同），采用强制热风循环系统，炉内温度均匀性优异，可稳定完成烘烤、固化、退火等多种热处理工艺。

氮气氛围可选，降低氧化风险

支持通入氮气（N₂）实现低氧环境处理，炉内残氧浓度可控制在 20ppm 以下，减少工件高温氧化，适配易氧化材料的热处理需求。

安全可靠，适配工业级连续运行

配备多重安全防护机制（超温保护、过压保护等），支持可编程多段控温，可实现无人值守运行，适配产线连续生产节奏。

紧凑型洁净室友好设计

整机结构紧凑，适配标准洁净室布局，安装调试便捷，无需复杂改造即可投入使用。

三、日本 JTEKT高温洁净烘箱半导体晶圆烘烤炉典型应用场景

半导体 / 晶圆制程：晶圆 / 玻璃基板的高温烘烤、光刻胶固化、聚酰亚胺固化、退火工艺。

光电 / 显示行业：LCD/OLED 面板的玻璃基板热处理、薄膜固化、老化测试。

精密零部件制造：电子元件、陶瓷零件的洁净退火、去应力处理，避免氧化与颗粒污染。

材料研发与实验：高校、科研院所的高洁净环境材料热处理实验，支持氮气氛围低氧工艺。