描述：日本富士科技FUJItechnology 气动真空蝶阀，专为高真空管路、半导体真空设备设计，阀体密封性优异、开关响应快、结构紧凑，采用耐腐蚀密封材质，可适配高真空、洁净工况。广泛用于半导体镀膜设备、真空腔体、真空泵管路、真空检测设备，实现真空通断精准控制，保障设备真空环境稳定。

日本富士科技FUJItechnology 气动真空蝶阀

  日本 FUJItechnology 富士科技专注真空流体控制领域，BV‑NW63AXON 气动真空蝶阀采用半导体级洁净设计，阀体与密封件无粉尘析出、耐真空放气率低，可稳定维持腔体高真空状态。气动驱动开关快速，适配自动化真空系统通断控制，是半导体、精密真空设备中常用的核心管路阀件。

日本富士科技FUJItechnology 气动真空蝶阀

一、产品核心特点

1. 标准 NW63 接口：通用卡箍式连接，拆装便捷，适配主流真空管路；

2. 高真空密封性能：专用真空级密封材质，放气率低，密封性稳定；

3. 气动快速启闭：开关响应迅速，可实现自动化通断控制；

4. 半导体洁净等级：阀体抛光处理，无油污、无析出，适配无尘真空环境；

5. 耐腐蚀长寿命：不锈钢阀体，耐酸碱、耐老化，适合长期连续使用。

二、性能优势

1. 结构紧凑，占用管路空间小，便于设备集成；

2. 可搭配位置信号反馈，实时监控阀门开关状态；

3. 抗振动、抗冲击，适配真空设备连续运行工况；

4. 日本原厂精密加工，漏率低，真空稳定性强。

三、主要应用场景

• 半导体行业：PVD/CVD 镀膜设备、晶圆真空腔体、真空传输管路

• 真空设备：真空泵、真空发生器、检漏设备、精密真空测试系统

• 科研工业：实验室真空装置、精密材料处理、惰性气体真空管路

四、安装与使用

五、售后服务