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日本 LINTEC 液体质量流量控制器

描述：日本 LINTEC 液体质量流量控制器，区别于 MC‑7000/MC‑3000L‑TC 气体型 MFC，专注于液态化学试剂、溶剂、药液的微量、高精度流量控制。采用适配液体介质的测量与阀体结构，实现液体质量流量的稳定监测与闭环调节，多用于半导体清洗、刻蚀、薄膜制程中化学药液的定量供给。

  • 产品型号：LC‑3000L 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-05-22
  • 访问量：94
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 LINTEC 液体质量流量控制器


品牌：リンテック LINTEC

型号：LC‑3000L シリーズ（液体マスフローコントローラ）

产品全称：LC‑3000L 系列 液体质量流量控制器

核心特点：液体介质专用、微量流量精准控制、耐腐蚀流路、流量稳定性好、密封性强、适配化学药液、信号输出稳定

  • 运行模式：针对液体介质进行质量流量实时检测，通过内置阀体快速调节流量大小，按照制程需求定量供给化学液体，实现药液配比、清洗供液、药剂添加的自动化精准管控。

  • 设备类型：半导体精密液体流量控制元件

  • 产地：进口

  • 适用行业：半导体晶圆清洗、湿法蚀刻、CVD 前驱体供液、光伏精密制程、平板显示制造、精密化工微量配液

  • 外观结构：小型模块化本体，耐腐蚀管路接口，适配设备内部狭小空间安装

  • 整机特点：耐化学腐蚀、流量重复性高、不易产生气泡干扰、长期运行稳定、便于系统集成

  • 自定义标签：LINTEC 液体 MFC、LC‑3000L 流量控制器、半导体药液控制器、微量液体流量调节、湿法工艺供液元件

  • 测量对象：液体介质（区别于气体型 MFC）

  • 控制方式：液体质量流量闭环控制

  • 适用介质：各类半导体化学试剂、溶剂、腐蚀性药液

  • 量程范围：微量至中小流量区间，适配精密制程

  • 流路材质：耐酸碱、耐腐蚀专用材质

  • 抗干扰设计：减少气泡、压力波动对流量的影响

  • 通讯输出：兼容半导体设备常用控制信号


日本 LINTEC 液体质量流量控制器

1. 液体专用结构设计，与气体 MFC 形成明确分工

气体型 MFC 依靠热式原理控制气态介质，无法用于液体。LC‑3000L 针对液体流动性、腐蚀性、易起泡特性重新设计传感与阀体结构，专门解决湿法工艺药液定量供给难题。

2. 抑制气泡干扰，保障湿法工艺流量稳定

液体管路容易混入气泡造成流量波动，本系列优化内部流路结构，降低气泡对测量精度的影响，保证清洗药液、蚀刻药剂供给均匀稳定，减少晶圆表面不良。

3. 全流路耐腐蚀，适配强化学药液环境

内部管路、密封件均采用耐酸碱、耐有机溶剂材质，可长期接触半导体各类化学试剂，不易腐蚀泄漏，满足洁净制程的安全与纯度要求。

4. 微量高精度控制，匹配精密半导体制程

可实现微小流量精准调节，满足前驱体供液、精密清洗、定点蚀刻等对药液用量严格的工艺，保障薄膜厚度、清洗效果一致性。

5. 标准化集成设计，适配日系自动化产线

外形尺寸、接口、控制协议与同品牌气体 MFC 统一规格，可同步集成在一套气液供给系统中，简化设备布局，降低整体调试难度。
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