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日本サーパス工業 SURPASS 流量控制器

描述：日本サーパス工業 SURPASS 流量控制器，，面向半导体周边设备、真空设备、热处理、表面处理等常规工业气体管控场景开发。采用成熟流量检测与阀控结构，兼顾实用性与经济性，可稳定实现多种工艺气体的流量测量与自动调节，适配中小流量区间的连续供气控制。

  • 产品型号：Z2000 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-05-22
  • 访问量：64
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本サーパス工業 SURPASS 流量控制器

  • 品牌：サーパス工業 SURPASS

  • 型号：Z2000 シリーズ（流量コントローラー）

  • 产品全称：Z2000 系列 通用型气体流量控制器

  • 核心特点：结构紧凑、通用性强、流量控制稳定、性价比高、安装便捷、维护简单、适配多种气体

  • 运行模式：实时检测管路内气体流量，通过内置调节阀自动调整开度，稳定维持设定流量，为设备持续供给定量工艺气体，实现自动化供气管控。

  • 设备类型：工业通用型气体流量控制元件

  • 产地：进口

  • 适用行业：半导体辅助设备、真空镀膜、热处理炉、焊接保护气、等离子清洗、实验室设备、各类工业气体供给系统

  • 外观结构：小型一体化本体，标准管路接口，适配设备内部、管路旁侧嵌入式安装

  • 整机特点：体积小巧、响应平稳、抗压力波动、长期运行稳定、适配多工况使用

  • 自定义标签：SURPASS 流量控制器、Z2000 系列 MFC、通用气体流量调节元件、真空设备供气控制、日系经济型流量控制器

  1. 控制介质：氮气、氩气、压缩空气、各类惰性及常规反应气体

  2. 流量量程：覆盖中小流量常用区间

  3. 调节方式：闭环自动流量控制

  4. 信号输出：标准工业控制信号，可对接 PLC 及设备控制系统

  5. 安装方式：管路直装式，适配常规气路布局

  6. 适用工况：常温常压、常规工业及真空环境

  7. 结构特性：小型轻量化，节省设备安装空间

日本サーパス工業 SURPASS 流量控制器

1. 通用型定位，适配非严苛精密制程场景

不同于半导体专用 MFC，Z2000 主打通用性，用于真空设备、热处理、清洗设备等对精度要求适中的工况，在保证稳定供气的同时，控制整体采购成本。

2. 紧凑小型化设计，适配设备狭小安装空间

整体体积精简，可灵活布置在设备内部、气路模组中，不占用过多空间，方便新旧设备改造集成，适配紧凑型自动化设备的布局需求。

3. 稳定抗波动，适应工业管路压力变化

内部阀控结构对管路压力波动适应性较好，供气流量不易受前端气压变化影响，保障设备在连续运行中气体供给平稳。

4. 多气体兼容，适用场景广泛

可适配多种工业常用气体，一台设备可对应不同工艺切换使用，通用性强，减少企业多型号备货成本。

5. 日系成熟制造，满足长期连续使用需求

依托サーパス工業在流体控制领域的生产经验，部件耐用性好，维护简便，故障率低，适合工厂长时间不间断运行。
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