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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本大仓Ohkura 热式质量流量控制器
品牌：大倉電気株式会社（Ohkura，日本工业仪表品牌）
型号：MF1100B
类型：热式质量流量控制器（MFC）
测量原理：热式质量流量传感 + 闭环控制
产地：进口
核心用途：氮气、氧气、氩气、氢气等工业气体的流量控制，适用于半导体工艺、光伏镀膜、化工反应、实验室气体配比等场景
核心优势：中小流量全覆盖、低泄漏设计、软启动保护、高精度闭环控制、机身紧凑、抗干扰性强、维护便捷
流量范围：5 SCCM ~ 20 SLM（标准立方厘米 / 分钟～标准升 / 分钟）
控制范围：2% ~ 100% FS
线性度：±0.5% FS
重复性：±0.2% FS 以下
响应时间：约 3 秒内收敛到设定值的 ±2% FS 以内
温度稳定性：±0.05%/℃
泄漏率：≤1.013×10⁻⁹ Pa・m³/s（He）
适用气体：氮气、氧气、氩气、氢气、氦气、二氧化碳等常见工业气体（部分腐蚀性气体可选）
最高工作压力：1.0 MPa
耐压：1.5 MPa
压力损失：≤5.0 kPa
工作差压：≥5 kPa（5SCCM~5SLM）/ ≥10 kPa（5~20SLM）
工作温度：5℃ ~ 45℃（与气体温度相同）
环境湿度：10% ~ 90% RH（无凝露）
供电电源：+15V DC（±5%）
功耗：≤1 VA
设定信号：0~5V DC（标准）
输出信号：0~5V DC（标准）/ 1~5V DC（可选）
接口类型：DB9 连接器
阀门类型：电磁阀，内置软启动功能（线性上升，防冲击）
外形尺寸：约 W40×D110×H70 mm
整机重量：约 680 g
接液材质：SUS316 不锈钢
连接方式：1/4" 卡套接头（标准，可选其他规格）
日本大仓Ohkura 热式质量流量控制器
中小流量精准控制：覆盖 5SCCM~20SLM，满足实验室、半导体小流量工艺需求。
低泄漏高洁净：泄漏率≤10⁻⁹ Pa・m³/s，适配高洁净度工艺环境。
软启动防冲击：内置软启动功能，避免阀门快速开启导致的流量冲击，保护下游设备。
高稳定性抗干扰：温度稳定性 ±0.05%/℃，线性度与重复性优异，长期运行数据可靠。
紧凑机身易集成：体积小巧，适配设备内部有限安装空间，便于系统集成。
标准信号兼容：0~5V 信号输出，与主流控制系统无缝对接。
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