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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本大仓Ohkura 高性能热式质量流量控制器
品牌：大倉電気株式会社（Ohkura）
型号：MF5100B
类型：高性能热式质量流量控制器（MFC）
测量原理：热式质量流量传感 + 闭环控制
产地：进口
核心用途：工业气体流量控制，适用于半导体工艺、光伏、化工反应、新能源电池制造、工业燃烧等大流量场景
核心优势：超宽流量范围、低泄漏设计、3 种软启动模式、高稳定性、高耐压、适配工业级工况、丰富的信号接口
流量范围：5 SCCM ~ 400 SLM
控制范围：2% ~ 100% FS
线性度：±0.5% FS
重复性：±0.2% FS 以下
响应时间：约 3 秒内收敛到设定值的 ±2% FS 以内
温度稳定性：±0.05%/℃
泄漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（He）
适用气体：氮气、氧气、氩气、氢气、氦气、二氧化碳等工业气体（腐蚀性气体可选）
最高工作压力：1.0 MPa
耐压：1.5 MPa
压力损失：≤5.0 kPa
工作差压：≥10 kPa（5~50SLM）/ ≥20 kPa（50~400SLM）
工作温度：0℃ ~ 50℃
环境湿度：10% ~ 90% RH（无凝露）
供电电源：+15V DC（±5%）
功耗：≤3 VA
设定信号：0~5V DC（标准）
输出信号：0~5V DC（标准）/ 1~5V DC（可选）
接口类型：DB9 连接器
阀门类型：电磁阀，内置 3 种软启动模式（设置变更时 / 通电时 / 外部阀门关闭时），启动时间最长 70 秒可调
外形尺寸：约 W60×D130×H80 mm
整机重量：约 800 g
接液材质：SUS316 不锈钢 / 高强度铝合金（可选）
连接方式：1/4"、3/8"、1/2" 卡套接头（可选规格）
日本大仓Ohkura 高性能热式质量流量控制器
超宽流量覆盖：5SCCM~400SLM 单型号覆盖大跨度流量范围，减少多型号备货成本。
工业级低泄漏：泄漏率低至 10⁻¹⁰ Pa・m³/s，满足高洁净度工艺要求。
智能软启动保护：3 种软启动模式，可根据工艺需求选择，避免流量冲击，保护下游设备与工艺稳定性。
高稳定性与可靠性：优化的电路与机械结构，温度稳定性优异，长期运行精度无漂移。
宽温区适配：工作温度 0~50℃，适配工业现场复杂环境。
丰富的接头规格：可选多种卡套接头尺寸，适配不同管径的工艺管路。
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