描述：日本纳普森napson 涡流无损电阻率检测仪依靠电磁涡流原理实现非刺破无损检测，区别传统四探针接触式测试；手持探针轻触样品即可自动读数，可一键切换方块电阻、体电阻率、晶圆电阻率三种测量模式，搭配 5 款量程可选替换探头，全覆盖低阻至高阻导电材料检测，整机便携一体式。

（一）产品基础信息

• 品牌：NAPSON（日本纳普森）

• 型号：EC-80P（Portable 便携式）

• 测量原理：交变磁场涡流感应法，非接触无损检测，探针不划伤样品表层

• 产地：日本原装整机进口

（二）工作原理

（三）核心产品特点

1. 无损不破坏样品：无探针扎入，避免昂贵晶圆、镀膜表面产生针孔损伤，贵重样品可全点位反复复测。

2. 手持灵活点位测量：笔式探头自由移动，大板、异形工件、卷材边缘均可定点抽检，不受样品外形限制。

3. 三模式一键切换：晶圆电阻率、体电阻率、方块电阻三种测量模式快速切换，兼顾薄膜与块状材料检测。

4. 多量程可换探头：标配可拆式探头，分低 / 中 / 高 / 超高 / 太阳能专用 5 种探头，按需更换覆盖全量程阻值，主机可同时接驳 2 支测量探头 + PN 极性检测探头。

5. 简易操控系统：JOG 旋钮一键设置厚度、环境补偿等参数，大屏液晶直观显示数值，新手快速上手操作。

6. 便携机身设计：整机一体式带手提槽，实验室、产线、来料仓库现场均可移动检测。

（四）量程与核心参数

1. 全量程范围（500μm 标准膜厚条件）

• 体电阻率：1mΩ・cm～200Ω・cm

• 方块电阻：10mΩ/□～3000Ω/□

2. 分探头细分量程

• 低阻探头：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω・cm）

• 中阻探头：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω・cm）

• 高阻探头：10～1000Ω/□（0.5～60Ω・cm）

• 超高阻探头：1000～3000Ω/□（60～180Ω・cm）

• 太阳能硅片专用探头：5～500Ω/□（0.2～15Ω・cm）

3. 样品要求：待测区域平整，被测面直径≥20mm，不限板材大小、外形规格

4. 机身尺寸重量：主机 255×275×95mm，整机约 4kg；探头 Φ20mm×80mm

（五）适用测量材料 & 应用场景

1. 半导体行业：单晶硅 / 多晶硅晶圆、SiC 碳化硅、GaN/GaAs/InP 化合物半导体外延片、离子注入片、PN 极性判定检测。

2. 光电薄膜行业：ITO 导电玻璃、金属镀膜、DLC 类金刚石膜、银纳米线薄膜、各类透明导电膜方阻抽检。

3. 新能源光伏：硅基太阳能电池片、硅片扩散层电阻率制程管控。

4. 新材料研发：石墨烯、碳纳米管、导电复合材料、功能导电涂层实验室测试。

5. 生产管控场景：来料入库质检、产线制程巡检、成品出厂抽样检测、研发配方阻值比对。