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日本纳普森napson 四探针方块电阻测试仪

描述：日本纳普森napson 四探针方块电阻测试仪
整机搭配 4 款选配测试平台，依托经典四点探针法精准检测方块电阻与体电阻率，自带厚度、温度补偿、整机自检、自动量程切换功能，覆盖从低阻半导体到高阻镀膜全量程检测；台式、手动升降、XY 大台面、手持探头四种配置灵活选型。

  • 产品型号：RT-70V 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-06-03
  • 访问量：41
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本纳普森napson 四探针方块电阻测试仪

（一）基础参数信息

品牌：NAPSON（日本纳普森）型号：RT-70V（主机通用，分 RG-5/RG-7C/RG-7S/TS-7D 四套配套平台）测量原理：标准直线四探针接触法，电流两端输入、中间双探针采集电压换算阻值主机尺寸：W250×D330×H130mm，整机净重约 7kg产地：日本原装整机进口

（二）四款配套平台细分说明

  1. RG-5：手动手柄升降平台手压摇杆控制探针下压抬起，结构小巧，适配 2-8 寸标准晶圆、小片试样，常规实验室小样检测首要选择。
  2. RG-7C：电动自动升降平台电机驱动探针自动下压复位，减少人为操作误差，定点重复测试一致性高，量产车间常态化抽检。
  3. RG-7S：XY 位移电动平台台面可前后左右位移，适配大尺寸玻璃基板、整卷薄膜、大板材料，圆形试样最大支持 300mm (12 寸)，方形试样 730×920mm 大面积点位巡检。
  4. TS-7D：分体手持式探头主机连线外置探头，便携手持悬空测量卷材边缘、异形工件、不便放置台面的样品，平台为选配配件。

（三）核心产品特点（6 点）

  1. 四模式一键切换：方块电阻、体电阻率、体电阻、厚度换算四种测量模式，一键切换适配薄膜 / 块状材料。

  2. 智能参数补偿：JOG 旋钮便捷录入样品厚度、环境温度、硅材 PN 参数，内置硅片专用温漂补偿算法，降低温变带来的数据偏差。

  3. 自动量程识别：仪器内置多档位自动切换，从毫欧级低阻到兆欧级高阻无需手动调档，避免量程选错数据出错。

  4. 开机自检功能：开机自动整机线路自检，快速排查主机故障，保障长期使用测量稳定性。

  5. 探针灵活选配：可按需更换不同间距、材质探针，适配超薄镀膜、硬质碳化硅、脆性硅片等差异化样品。

  6. 模块化组合设计：一台 RT70V 主机可后期按需更换任意一款测试平台，设备拓展性强，降低分批采购成本。

日本纳普森napson 四探针方块电阻测试仪

（四）全量程测量范围

  • 体电阻率：1μΩ・cm～300kΩ・cm

  • 方块电阻：5mΩ/□～10MΩ/□

  • 直流电阻：1mΩ～3MΩ

（五）适用行业与被测材料

  1. 半导体行业：单 / 多晶硅晶圆、SiC/GaN 化合物半导体、离子注入片、扩散层、外延片来料与制程管控。

  2. 光电显示行业：ITO 导电玻璃、金属镀膜、LTPS 薄膜、DLC 类金刚石涂层方阻检测。

  3. 新能源光伏：硅基太阳能电池片、硅片扩散面电阻率抽检。

  4. 新材料研发：石墨烯、碳纳米管、银纳米线导电薄膜、复合导电材料实验室测试。

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