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日本Azbil MEMS 热式微小液体流量计

描述:日本Azbil MEMS 热式微小液体流量计主打 50mL/min 以内超小流量精准测控,打破传统仪表难以稳定测量点滴级微量流体的痛点。整机接液部位选用熔融石英玻璃搭配 PFA/PTFE 氟树脂,全程无金属接触液体,耐各类弱酸、有机溶剂、电解液腐蚀。一体式紧凑型结构,无需外接信号转换模块,标配工业标准信号输出,广泛配套半导体、锂电、精细化工、生物制药自动化产线做微量液体定量管控。

  • 产品型号:F7M 全系列
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-06-05
  • 访问量:34
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本Azbil MEMS 热式微小液体流量计

全系列量程划分(三大主力型号)

1.F7M9010:测量区间 0.1~10mL/min,适用点滴给药、微量试剂配比,最小可捕捉 0.1mL/min 细微流量变化2.F7M9030:测量区间 0.3~30mL/min,市面通用主力规格,半导体涂胶、消毒液喷淋标配型号3.F7M9050:测量区间 0.5~50mL/min,全系列大流量款,锂电电解液定量灌装、清洗剂配比使用
接头分两种选配:3mm 外径氟塑软管接头、1/8 英寸英制软管接头,匹配日系自动化设备常规管路规格。

工作原理

依托阿自倍尔自研 MEMS 热传感技术,传感器布置在流道外壁不接触介质,探头发出恒定热量,液体流经带走热量形成温差,通过前后测温元件差值换算实时流量数值,不受液体颜色、轻微杂质影响,小幅气泡、流体脉动环境依旧保持测量稳定,配套上位软件可依照液体导热系数修正不同介质测量误差。

日本Azbil MEMS 热式微小液体流量计

产品核心特点

1. 直通直管流路设计,全面、无残液囤积,死体积小,便于设备原位清洗,运行压降低,不会阻碍微量液体输送2. 全防腐接液配置,石英 + 氟树脂组合兼容绝大多数醇类、酮类、弱酸、光刻液、电解液,规避金属被介质腐蚀渗漏问题3. 机身小巧轻便,自带原装固定支架,支持水平卧式、垂直立式两种安装,流向垂直安装要求液体自下往上流通,机柜内嵌、设备模组安装都适配4.IP65 整机防尘防水,机身无外露金属壳体,液体飞溅、潮湿车间环境可长期连续运行,仅配置 LED 状态指示灯,故障、空管、堵液自动灯光提醒5. 集成多类型输出信号,4-20mA 模拟量搭配数字输入输出,可直连 PLC 工控系统,同步采集瞬时流量与累计流量数据,实现自动化闭环控液

适用行业场景

  • 半导体行业:晶圆光刻胶微量涂布、显影液、剥离药剂精准输送管控

  • 锂电池制造:电解液微量加注、极片表面助剂微量喷涂计量

  • 精细化工:各类助剂、清洗剂微量配比、小样量产流量监控

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