描述：日本Azbil 数字型气体质量流量控制器。专为中小量程工艺气体精密控流设计，依托热式质量测量原理，不受温度、气压波动干扰，实时监测并自动调节气体流量。整机体积紧凑，方便嵌入各类自动化设备内部，内置多种常用气体参数，不用反复标定，标配数字通讯 + 模拟双输出，半导体、实验室、真空镀膜行业大批量用来精准管控氮气、氩气、氧气等各类高纯工艺气体。

日本Azbil 数字型气体质量流量控制器

1、量程分类

2、工作原理

采用热式质量流量检测，气流流过传感段带走标定热量，测温元件根据温差换算气体质量流量；内置电磁阀 + 闭环控制电路板，实测流量和设定值出现偏差时，阀门实时微调开度，把流量稳定在设定数值，直接以质量流量显示，消除温压带来的测量误差。

日本Azbil 数字型气体质量流量控制器

3、产品特点

1、数字化主板设计，自带 N₂、Ar、O₂、Air 等多种气体内置系数，更换介质只需机型参数切换，省去重新标定工序。

2、体积相比传统 MFC 大幅缩小，机台狭小安装空间也能轻松装配，设备集成便利性高。

3、双信号输出，4-20mA 模拟 + RS485 数字通讯，既能现场仪表给定流量，也可 PLC 远程程控设定。

4、阀体轻量化铝合金材质，气密性优异，耐受常规高纯无腐蚀工艺气体，泄漏率低。

5、响应速度快，阀门调节灵敏，启停、流量切换后短时间即可稳定在设定数值，保障工艺一致性。

6、自带故障自检，异常、超限、堵气状态可通过信号反馈上位机，方便现场设备运维排查。

4、电气参数

5、适用场景

1、半导体制程：腔体氮气吹扫、惰性保护气精准供给、蚀刻辅助气体配比控制。

2、真空镀膜：光学镜片、元器件镀膜工艺用气定量控制。

3、科研实验室：混合标准气体配制、各类理化试验气源调节。

4、精密自动化：焊接保护气、检漏工装氮气供给管控。