描述：日本toel 超高真空残留气体分析仪
WATMASS-MPH 是 TOEL 推出的高灵敏度质谱分析设备，主打超低自身放气特性，适用于超高真空环境下的微量气体检测与密封器件检漏。设备可有效抑制干扰信号，精准识别各类痕量气体组分，整体洁净度高，运行稳定，广泛应用于半导体、光电子、新材料及真空设备检测等领域。

产品概述

工作原理

• 超低放气设计：离子源法兰采用0.2% BeCu 合金，低辐射、高导热，抑制灯丝热诱导放气；

• 伪峰抑制：PtIr 合金栅极 +1000℃电子轰击脱气，将氢与 ESD 伪峰降至传统产品的 1/1000 以下；

• 极限灵敏度：可在10⁻¹⁰Pa～10⁻²Pa真空区间稳定工作，最小可检测分压达10⁻¹²Pa，适配超微泄漏（10⁻¹⁵Pa・m³/s 级）测试。

日本toel 超高真空残留气体分析仪

结构与配置

• 主机（WATMASS‑MPH 100M）：四极杆分析器、BeCu 合金离子源、Y₂O₃‑Ir 双灯丝、FC/EM 双检测器、ICF070 法兰接口；

• 控制单元：集成电源、真空联锁、脱气控制，带触控面板；

• 脱气控制器：独立高温脱气模块，支持 1000℃栅极脱气；

• 软件：FabGuard Explorer，支持实时质谱扫描、组分定量、泄漏率计算、数据追溯；

• 材质：接触真空部件全为316L 不锈钢 + 特种合金，可拆洗、易维护。

核心特点

1. 超低放气：全部件高温脱气，自身放气远低于传统 RGA，真实反映样品微量气体；

2. 超高灵敏度：10⁻¹³Pa 级分压检测，10⁻¹⁵Pa·m³/s级超微泄漏可测；

3. 强抗干扰：氢 / ESD 伪峰抑制至 1/1000，极低背景噪声，痕量组分精准识别；

4. 宽质量范围：标配 100amu，可选 200/300amu，覆盖常见气体与有机挥发物；

5. 洁净适配：全金属真空密封，无橡胶 / 塑料污染，符合半导体 / 医疗级洁净要求；

6. 多功能集成：支持残留气体分析、材料放气测试、密封器件检漏、真空工艺诊断。

应用场景

• 半导体 / MEMS：晶圆 / 封装器件微量气体分析、密封腔体检漏、真空工艺残气检测；

• 光电子 / 显示：OLED、LED、真空器件的放气与密封可靠性评估；

• 材料科学：金属 / 陶瓷 / 高分子材料的高温 / 真空放气测试；

• 真空设备：超高真空腔室、真空泵、阀门的残气诊断与泄漏定位；

• 科研院所：表面分析、电子 / 光刺激气体析出、同位素分析等基础研究。

使用与维护

• 安装：通过 ICF070 法兰连接真空系统，确保密封无泄漏；

• 启动：真空达标后开启灯丝，执行高温脱气（1000℃），降低背景干扰；

• 操作：软件设置质量范围、扫描速率，实时监测质谱图，定量目标组分；

• 维护：定期清洗离子源与四极杆，更换老化灯丝；长期不用时保持真空封存，避免吸附污染。