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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本武藏野Musashino 手动精密研磨抛光机
台式灰色钣金主机底座
一体防锈钣金机身,底部防滑减震脚垫,内置 120W 直流调速驱动电机、散热风道,正面集中布置全套操作控制开关,机身紧凑轻量化,整机仅 20kg,单人可挪动搬运。
Φ200mm 标准研磨盘工作平台
主机上方旋转研磨盘,可选 200mm/203mm 两种规格盘面,可粘贴砂纸、金刚石磨片、抛光绒布,盘面动平衡校准,高速旋转无抖动,保证全域研磨均匀。
正面一体化操作控制面板(对应原厂手册开关布局)
① 转速数字显示屏:实时显示研磨盘当前转速;
② 运行 / 待机模式切换开关(RUN/STAND-BY);
③ 正反转切换开关(FWD 正向 / REV 反向);
④ 无级调速旋钮:连续调节 0~400rpm 转速;
⑤ 数字定时器模块:0~99 分 59 秒定时自动停机;
⑥ 电源总开关、漏电保护安全回路。
专用手动研磨夹具总成(原厂选配标配件)
MM-200 专用手研磨夹持治具,可固定 Φ25mm 标准粘贴板,通过热蜡将试样粘接于固定板后装入夹具,人工手持夹具下压研磨,精准控制研磨去除厚度,配套导向环辅助找平。
循环供水冷却管路接口(预留拓展)
机身侧边预留冷却水喷嘴接口,可外接循环供水装置,研磨过程持续喷淋冷却试样,避免树脂、晶体试样高温热损伤,适配软质、热敏材料抛光。
全套原厂标准配套辅件
Φ200mm 研磨底盘、手动研磨夹具、导向定位环、金刚石研磨片、抛光绒布、冷却喷嘴组件、清洁毛刷、日文操作说明书、出厂平面度精度校准报告
0~400rpm 全域无级调速 + 正反转双向旋转
大区间转速连续可调,软质晶体用低速、金属硬质试样用高速;可切换正向 / 反向研磨,消除单一方向加工产生的划痕纹路,提升镜面均匀度。
手动夹持研磨,精准控制去除量
搭配专用手磨夹具,操作人员可实时把控下压力,针对超薄半导体芯片、脆性光学晶体实现微量研磨,避免样品崩边、过抛损耗,适配高价值试验小样。
高精度制样,可达纳米级镜面粗糙度
标准工艺下试样平面度优于 λ/10,表面粗糙度 Ra<0.01μm,无边缘下垂、无表层夹杂剥离,满足 SEM、EPMA、光学干涉检测前制样要求。
数字定时自动停机,标准化试验流程
内置最长 99 分 59 秒数字计时器,设定研磨时长后自动断电停机,多批次试样研磨工艺统一,消除人工计时误差,试验重复性更高。
紧凑型台式轻量化机身,实验室台面通用
整机尺寸仅 W330×D430×H200mm,净重 20kg,无需专用落地地基,放置于金相操作台、半导体检测工位均可使用,占地极小。
预留水冷拓展接口,热敏材料友好加工
侧边可加装循环冷却水喷淋系统,研磨过程带走摩擦热量,防止树脂、软性光学晶体受热变形、开裂,拓展设备适配材料范围。
动平衡校准研磨盘,低震动低噪音运行
出厂盘面精密动平衡校正,高速旋转无明显抖动,研磨划痕均匀细腻;内置隔音减震结构,长时间作业噪音低,适配室内实验室环境。
全套专用治具拓展,兼容多规格试样
原厂配套多款夹持夹具,适配晶圆、晶体棒、电子元器件、金属薄片、树脂包埋金相试样,可根据样品尺寸快速更换工装。
设备型号:MM-200
生产品牌:Musashino ムサシノ電子株式会社(日本武藏野电子)
研磨盘直径:Φ200mm / Φ203mm 两种可选
转速调节范围:0 ~ 400rpm 无级连续可调
旋转模式:正向 FWD / 反向 REV 双向切换
定时功能:数字定时器 00:01 ~ 99:59 自动停机
驱动电机:120W 直流调速电机
输入电源:AC100V 50/60Hz(可定制 220V 出口版本)
整机外形尺寸:宽 330mm × 深 430mm × 高 200mm(不含冷却喷嘴)
整机净重:20kg
加工精度:试样平面度 λ/10 以下,表面粗糙度 Ra<0.01μm
适配试样:半导体 IC 截面、光学 LN 晶体、金属金相、树脂包埋样品、陶瓷薄片
半导体研发实验室:芯片截面抛光、器件断面制备,用于 SEM/EPMA 成分形貌分析;
光学元件加工厂:LN 光学晶体、光学玻璃端面镜面研磨,干涉检测前制样;
高校材料 / 金相实验室:金属、陶瓷材料金相试样手动精细抛光;
第三方材料检测机构:高价值稀有小样微量研磨,避免自动化设备过抛报废;
精密电子元器件质检实验室:PCB、微型器件断面平整度评价制样。
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