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日本大亚DIAVAC 非加热压电隔膜真空计

描述:日本大亚DIAVAC 非加热压电隔膜真空计
DIAVAC TRD-10-P12NC 是日本大亚真空 TRD 系列低量程压电隔膜真空计,采用扩散型半导体压电传感元件,区别传统热传导皮拉尼真空计,内部无加热灯丝,测量时不会造成有机气体裂解、污染洁净腔体,是半导体、生物制药、精密镀膜优先选型。

  • 产品型号:TRD-10-P12NC
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-06-18
  • 访问量:7
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本大亚DIAVAC 非加热压电隔膜真空计

无加热压电检测,洁净制程核心优势

传统皮拉尼真空计依靠加热丝测温,有机蒸汽、药液蒸汽接触高温灯丝易裂解碳化,污染腔体、损耗传感器寿命;TRD-10-P12NC 纯压电力学感应,全程无热源,适配生物发酵、半导体晶圆、制药真空干燥等高洁净要求工艺,杜绝样品污染风险。

低量程精准测量,双级温度补偿

满量程 13.3kPa(100Torr),覆盖粗真空、负压微压差区间;整机双段温度补偿算法,相比常规隔膜真空计温漂大幅降低,精度稳定维持读数 ±0.2%,设备长期连续运行无需频繁校准。内置无对置电极结构,外界环境气压变化不会造成测量零点漂移,车间温湿度波动工况数值稳定可靠。

SUS316L 全接触防腐,适配复杂工艺气体

真空接触部位全部 316 不锈钢材质,可耐受乙醇、弱酸、弱碱、水汽、轻微腐蚀性工艺气体;普通铝制隔膜真空计无法使用的化工、制药、锂电产线均可稳定搭载,大幅降低传感器腐蚀损坏更换成本。

日本大亚DIAVAC 非加热压电隔膜真空计

模拟 + 数字双信号,自动化系统灵活对接

  • 模拟 DC0~10V:直接接入 PLC 模拟量模块,快速读取真空压力值;

  • RS485 两线半双工数字通讯:多台传感器总线组网,上位机批量采集、数据存储追溯;

    搭配 DGC-A12 专用显示控制器,可本地实时数字显示,额外扩展 2 路压力开关报警,实现高低真空联锁停机保护。

标准半导体 VCR 接口,设备集成便捷

底部标配 8VCR 母螺母(1/2 英寸)洁净真空接头,半导体、镀膜设备通用标准密封接口,无垫片泄漏风险,拆装维护简便;整机圆柱形小型机身,设备腔体侧面、管路狭小空间均可直接安装。

低功耗长效稳定,24h 不间断运行

工作功耗仅 0.65W,DC 宽压 14~26V 供电,工业直流电源、设备内置开关电源均可适配;无易损耗灯丝结构,相比热传导真空计使用寿命提升数倍,适合产线全年无休连续监测。

主流适配应用场景

  1. 半导体行业:晶圆预处理腔体、薄膜沉积设备粗真空监测

  2. 生物制药:发酵罐负压、真空干燥机、无菌药液脱泡真空控制

  3. 精密光学:小型真空镀膜机、光学镜片蒸镀粗真空闭环调节

  4. 新能源锂电:涂布机真空腔、电解液脱泡负压监控

  5. 化工实验室:腐蚀溶剂真空蒸馏、负压反应釜压力检测

  6. 医疗设备:真空负压管路、细胞培养低负压环境稳定控制


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