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描述：日本ORION KIKAI 无油高真空干式真空泵
KHH251-101 属于 ORION KHH 系列单相无油高真空干式真空泵，主打无油洁净 + 持续高真空两大核心优势，区别油式真空泵，全程不使用真空油，不会产生油雾、油污污染被抽气体与工件，适配半导体、光学、医药、胶水脱泡等洁净工艺场景。采用电机法兰直连一体化结构，机身紧凑小巧，普通单相市电即可驱动，无需额外三相供电改造。

产品型号：KHH251-101
厂商性质：代理商
更新时间：2026-06-22
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本ORION KIKAI 无油高真空干式真空泵

全干式无油结构，杜绝油气污染工艺

泵内部无任何润滑真空油，依靠耐磨高分子滑片密封，抽取含溶剂、粉体、光学 / 半导体工件时，不会出现油蒸汽返流污染样品；适合 NMP 浆料、光学玻璃、晶圆、医药原料等对洁净度要求严苛的制程，省去油气过滤配套设备，降低产线配套成本。

极限真空可连续长时间运行

市面多数小型真空泵仅能短时达到高真空，长期负载易过热、真空度衰减；KHH251-101 设计允许在 1.3kPa 极限负压下不间断连续工作，适合持续吸附、连续脱泡、腔体长期保真空等不间断生产工况，真空输出稳定无波动。

法兰直连紧凑机身，设备集成友好

电机与泵体法兰直接对接，取消传统联轴器冗余结构，整机体积大幅缩小，可直接内置自动化设备机架、洁净工作台下方、小型实验柜内部；整机仅 19kg，单人可搬运安装，狭小工位适配性强。

单相 100V 供电，实验室 / 小型产线通用

无需三相工业电源，普通民用单相插座即可启动，高校实验室、小型加工厂、研发打样车间不用改造配电线路；同系列 301A-G1 为三相款，适配大功率量产产线，101 单相款主打研发、小批量工位使用。

日本ORION KIKAI 无油高真空干式真空泵

低噪耐磨，长期稳定低维护

运行噪音控制在 70dB 以内，对比同类干泵静音优势明显；滑片采用耐磨特种复合材料，无油工况使用寿命长；日常仅需定期清理进气滤芯，无需更换真空油，运维工序简单，普通操作工即可完成保养。

内置多重压力安全保护

集成进气超压、排气过载、干运行联锁保护；系统管路泄漏、进气压力骤升时自动停机报警，防止泵体过载烧毁；搭配选配 KHH251-101 控制器，可设定上下限真空阈值，自动启停泵体稳压，实现无人值守负压控制。

全行业适配应用场景

半导体光电：晶圆搬运真空吸附、光学镜片镀膜前预处理、小型真空腔体抽气；

精细化工：环氧树脂、UV 胶、导电浆料真空脱泡，消除气泡缺陷；

自动化设备：印刷机、贴膜机、CNC 工件真空固定吸附平台；

医药包装：无菌药品负压封装、生物试样真空保存；

高校实验室：小型真空反应、材料脱气、负压成型研发实验。

拓展配套灵活

可加装原厂静音降噪箱、进气粉尘过滤筒、DRY-DUMP 真空压力控制器、废气冷凝回收组件；多台泵可并联扩容，满足大腔体、多工位同步负压需求。

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全干式无油结构，杜绝油气污染工艺

极限真空可连续长时间运行

法兰直连紧凑机身，设备集成友好

单相 100V 供电，实验室 / 小型产线通用

日本ORION KIKAI 无油高真空干式真空泵

低噪耐磨，长期稳定低维护

内置多重压力安全保护

全行业适配应用场景

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