描述：日本小野测器ONOSOKKI 激光多普勒显微测振
LV-0381 是日本小野测器专为微小 MEMS、压电、半导体元器件开发的一维激光多普勒显微测振配套单元，需搭配 LV-1800 多普勒振动主机组成完整微观振动测试系统。设备集成双视野同轴观测显微光路，激光最小聚焦至 φ2.5μm，可捕捉微米区域微弱振动。

详细规格参数

1. 光学与激光核心参数

• 激光光斑最小直径：≤φ2.5μm（50× 物镜工况）

• 标配物镜：5×/10×/20×/50× 长工作距离显微物镜

• 振动测试频带（配 LV-1800）：标准 0.3Hz~3MHz，选配拓展至 20MHz

• 激光安全等级：Class 3R

• 观测系统：双路 CMOS 相机，分辨率 1280×960，USB2.0 图像输出

• 照明：内置同轴落射 LED 环形光源，亮度可调

2. 对焦机械结构

• 升降总行程：30mm

• 粗调旋钮：36mm / 转；微调旋钮：0.2mm / 转

• 滑台防护：防跌落锁止机构，升降延长段 100mm

• 安装方式：正装立式、倒置式两用

3. 底座与整机物理参数

• 底座材质：铝合金 + 上磁钢板，尺寸 310×300mm

• 整机外形尺寸：宽 410× 深 120mm

• 整机净重：约 8.1kg

• 供电规格：AC100~240V 宽幅电源，整机功耗 60VA

• 冷却：自然对流无振动风冷

4. 使用环境条件

• 工作温度：0~40℃

• 工作湿度：30~80% RH，无凝露、无腐蚀性气体

产品核心优势

1. φ2.5μm 超小激光光斑，可精准测量芯片、压电片上微米级微小测点，解决微型器件测点定位难题；

2. 双视野同步观测相机，大小画面实时切换，快速对齐激光测点，留存试样原始图像便于数据溯源；

3. 0.3Hz~3MHz 宽频覆盖，兼顾低频微振动与超声高频振子，一套设备适配多类微型元件；

4. 正装 / 倒置两用设计，薄试样、凸起封装芯片、底部观测样品均可灵活测试；

5. 重型磁吸铝合金底座，牢牢固定各类治具，长时间测试无整机微小位移，数据重复性优异；

6. 同轴落射 LED 照明，深色、透明微型元器件成像清晰，无遮挡、无反光干扰测点识别；

7. 粗微调双档对焦，精准控制激光焦点高度，适配不同厚度封装器件；

8. 3R 安全级激光光路搭配防护盖，满足实验室长期高频使用的激光安全规范。

适用场景

1. MEMS 微机电研发实验室：微加速度计、微型执行器共振频率、振动幅值定量测试；

2. 电子元器件质检车间：压电陶瓷、MLCC 微型电容、超声振子微观振动性能评价；

3. 半导体封装实验室：晶圆、微型 IC 芯片局部振动缺陷、共振模态分析；

4. 高校力学 / 微机电专业科研：微小结构频响、共振、耐久对比试验；

5. 医疗器械零部件检测：微型流体阀、驱动振子微观振动无损测试；

6. 生物微观动态研究：昆虫组织、微薄膜微弱振动非接触观测；

7. 第三方精密器件检测机构：出具微米级微观振动合规可溯源检测报告。