TOMOS-60XY日本FLOVEL 6英寸双面自动检测显微镜
日本FLOVEL 6英寸双面自动检测显微镜该款搭载电动 XY 载台的双面显微镜系统,配备上下两组光学镜头,可同步采集样品正反面图像,自动识别对位标记,测量正反面图案偏移、线宽尺寸,自带自动对焦,适合 6 英寸以内晶圆、MEMS、晶振器件的双面对位检测。
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更新日期
2026-10-23 - 02
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代理商 - 03
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