描述：日本福乐FLUORO 无尘室无油隔膜真空泵
FV-30 是日本 FLUORO Mechanic 专为千级 / 万级无尘室开发的小型无油电磁隔膜真空泵，作为真空吸笔专用配套负压源，两段式隔膜减压结构稳定输出负压，整机进气、排气双路搭载 HEPA 高效过滤，杜绝油气、粉尘污染晶圆与光学元件。本机电驱动无机械摩擦、运行低噪防静电，机身小巧轻便，无需空压机。

基础核心参数

真空结构：两段并联隔膜电磁驱动，无油润滑设计

1. 极限负压：-40kPa（-300mmHg）

2. 额定气流量：2.5L/min

3. 整机功耗：仅 5.0W，长时间连续运行低耗电

4. 供电规格：FV-30-100V（日规 AC100V）、FV-30-240V（出口 AC220V）

5. 过滤配置：进气 + 排气双路 HEPA 滤芯，拦截 0.3μm 颗粒效率 99.97%

6. 滤芯视窗：透明可视化窗口，直观观察积尘状态

7. 防静电：整机防静电壳体，配套抗静电真空软管

8. 整机尺寸：137×88×85mm

9. 整机净重：800g 轻量化台式机身

10. 连续运行：支持 7×24 小时不间断量产运转

11. 适配配件：C 系列导电真空吸笔、多规格 PEEK 吸嘴、抗静电软管

核心功能特点

1. 两段式负压稳压结构，吸附力平稳无脉冲波动，超薄硅片、玻璃薄片拾取不易滑落、崩边

2. 进出气双向 HEPA 双重过滤，外界粉尘、内部泵体碎屑全部拦截，保障真空回路洁净

3. 透明滤芯观察视窗，无需拆机即可查看滤芯积尘，提前规划更换，避免负压衰减

4. 5W 超低功耗，相比大型真空泵大幅省电，工厂多台设备长期使用降低用电成本

5. 封闭式静音腔体，机械摩擦极小，无尘实验室、质检工位无噪音干扰

6. 防静电整机外壳 + 配套抗静电管路，消除静电击穿微小芯片、元器件风险

7. 紧凑型迷你机身，设备台面、自动化机台狭小缝隙均可摆放，不占用无尘室宝贵空间

8. 即插即用独立真空源，无需外接空压机，单机单独供给一支真空吸笔，工位改造简单

9. 超长免维护寿命，电磁驱动几乎无磨损，年运转 8760 小时无需频繁保养

10. 可快速匹配全系列 FLUORO 导电真空吸笔，更换不同吸嘴适配晶圆、晶粒、镜片

11. 多重电路过载保护，电压异常自动停机，保护内部隔膜驱动组件

12. 常温稳定工作区间 0～40℃，恒温无尘车间数据负压一致性稳定

13. 原厂配套标准负压校验表，定期整机标定负压精度，满足半导体无尘车间工艺验收合规溯源要求

适用场景

1. 半导体无尘车间，6 寸 / 8 寸硅片、碳化硅薄片真空拾取搬运

2. 光学镜片、蓝宝石、红外晶体研磨前后无尘转移

3. 光伏电池片、薄膜基材微小薄片精密拾取作业

4. 电子封装实验室，芯片、电阻电容微小元器件试样拾取

5. 第三方微电子检测机构，晶圆送检小样标准化无尘搬运

6. 医疗器械光学组件、透明塑胶件洁净组装拾取

7. 高校光电、半导体专业无尘实验室教学实训

8. 精密注塑、镜头模组车间无尘工位真空吸笔配套气源