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日本爱发科ULVAC 耐腐蚀合成真空泵油

描述：日本爱发科ULVAC 耐腐蚀合成真空泵油
产品自带极低饱和蒸气压特性，运行过程油雾返流少，能够稳定维持设备极限真空；同时兼顾耐热、抗氧化、耐辐射多重性能，高低温工况均可保持均匀流动性；原厂金属密封罐装，分多种容量规格，更换加注便捷，广泛用于半导体湿法蚀刻、化工腐蚀合成、实验室辐照真空、电镀酸洗真空等会产生腐蚀性气体的真空作业场景。

  • 产品型号：SO-M
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-07-07
  • 访问量：66
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本爱发科ULVAC 耐腐蚀合成真空泵油

核心功能特点

  1. 合成油专属抗腐蚀配方，适配各类酸性、氧化、活性工艺气体，长期吸入腐蚀挥发物不易结油泥变质

  2. 极低饱和蒸气压特性，运行油返流、油雾析出少，腔体工件不会被真空油污染，保障制程洁净度

  3. 优异耐热抗氧化性能，泵体长期高温排气工况下劣化速度慢，延长油品更换周期，降低运维频次

  4. 高闪点安全配方，高温连续运行不易起火，适配长时间不间断量产真空设备，车间使用安全性高

  5. 低温流动性能稳定，低温环境开机无凝固卡顿，北方厂区、低温实验真空机组可稳定启动

  6. 具备耐辐射特性，辐照实验室、特种射线真空设备使用，不易因辐照快速失效

  7. 原厂配套适配性，专为 ULVAC GCD 全系列防腐真空泵标定，匹配泵体密封、润滑间隙设计

  8. 金属密封防锈罐体包装，仓储存放不易受潮氧化，油品保质期稳定，分装加注无泄漏

  9. 统一标准粘度体系，泵内部叶片、轴承滑动摩擦润滑均匀，降低泵体磨损，延长真空泵整机寿命

  10. 油液分层稳定无析出，长期静置、冷热交替环境不会产生杂质沉淀，避免堵塞泵内部管路

日本爱发科ULVAC 耐腐蚀合成真空泵油

适用场景

  1. 半导体湿法清洗、蚀刻产线，酸碱腐蚀气体排放真空泵专用润滑密封介质

  2. 精细化工合成车间，反应釜酸性、氧化性挥发气体抽吸防腐真空机组配套用油

  3. 实验室腐蚀样品前处理真空设备，含酸碱蒸汽腔体真空泵长效润滑

  4. 辐照、射线特种实验真空腔体，耐辐射工况专用耐腐蚀真空润滑油

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