描述：日本OKANO 微线圈宽域热传导真空计
整机体积小巧，支持一体式集成安装与分体长线分离两种模式，可选充电电池组脱离市电便携点检；红色 LED 指数直读屏幕，配套继电器报警、USB 数据通讯，可对接 PLC、电脑记录真空变化曲线，法兰接口多规格可选，广泛用于半导体腔体、真空镀膜、热处理炉、树脂脱泡、小型真空包装设备真空监测场景。

核心功能特点

1. 微线圈灯丝传感架构，替代传统细直丝，大幅提升抗震动、抗冲击性能，杜绝产线震动灯丝断线故障仪器仪表交...

2. 一体式散热恒温底座结构，抵消环境温差干扰，高低温车间长期测量数值漂移极小

3. 内置高温冲洗清洁功能，灯丝自动升温灼烧油污、挥发沉积物，适配油脂挥发量大的真空腔体

4. 一体 / 分体双形态自由切换，选配延长传感器线缆即可拆分为分离式，面板嵌入式 / 桌面手持两用

5. 迷你紧凑型机身，仅 72 (W)×42 (H)×50 (D) mm，设备狭小腔体内部、控制柜均可轻松嵌入安装

6. 三段式限位继电器输出（Hi/Go/Lo），可联动产线设备，真空超标自动报警、停机保护工艺

7. Micro USB 2.0 标准通讯，配套原厂分析软件，支持零点 / 斜率校准、数据存储、真空曲线导出

8. 可选大容量便携电池包，无市电工况连续长时间现场点检，单机续航可达 20 小时

9. 100ms 高速采样周期，搭配 1~9 秒可调滤波平均，真空波动剧烈腔体读数平稳不跳变

10. 多规格标准法兰接口可选（NW16/φ18/φ15/VCR/R 螺纹），各类真空管路直接接驳无需非标转接

核心基础参数

• 测量区间：5.0×10⁻² ~ 1.0×10⁵ Pa

• 显示区间：4.0×10⁻² ~ 1.2×10⁵ Pa

• 显示：2 位数值 + 2 位指数红色 LED 数码管

• 模拟输出：0~5VDC 标准信号

• 供电：DC12~24V 直流供电，可选 3.7V 充电电池组

• 工作环境：10~50℃，适配车间宽温工况

日本OKANO 微线圈宽域热传导真空计

适用场景

1. 半导体、光电元器件真空腔体，机台内置实时真空监控，稳定镀膜、蚀刻工艺参数

2. 真空镀膜、蒸镀生产线，镀膜腔粗抽阶段真空全程监测，管控膜层均匀度

3. 热处理、烧结真空炉，炉膛粗真空状态点检，预判炉体泄漏故障

4. 树脂、胶水实验室真空脱泡设备，脱泡腔体真空稳定控制，消除气泡缺陷

5. 小型真空包装、吸附工装，包装腔体真空度在线监测，保障密封效果

6. 真空设备售后运维巡检，便携式电池款现场多点排查管路泄漏点位

7. 第三方真空设备计量机构，出具真空度标准化检测、校准记录报告

8. 真空流体实验室，宽区间真空环境对比教学实训设备