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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本爱发科ULVAC 单级隔膜式干式真空泵
抽气速率:50Hz 12L/min;60Hz 14L/min
极限真空:24.0×10³ Pa(-77.3kPa)
电机功率:10W 单相电容电机
进出气口:Rc1/8 标准螺纹
整机尺寸:91 (W)×163 (L)×100.6 (H) mm
整机重量:1.9kg
工作环境:0~40℃干燥洁净空气,不可抽取腐蚀性气体
全无油干式隔膜结构,气路无润滑油,不会产生油雾污染晶圆、光学件、药液,满足高洁净制程要求,无需定期更换真空油,运维成本低。
双泵室并联设计,同等体积下提升抽气流量,单级排气结构抽气启动速度快,腔体快速建立负压。
内置自动复位热保护器,长时间连续运转温升超标自动断电,冷却后自动复位,防止电机烧毁,适配无人值守设备配套。
隔膜隔离式气路,偏心驱动机构与气体通道分开,介质不会接触电机内部零件,延长泵体使用寿命。
超紧凑轻量化机身,整机仅 1.9kg,可桌面摆放,也能直接嵌入自动化设备机架、小型仪器内部,节省安装空间。
标准 Rc1/8 螺纹接口,市面小型真空管路、过滤瓶、脱泡杯、真空吸盘接头可直接对接,无需非标转接头。
大气直接启动设计,无需预抽,开机即可对常压腔体抽真空,操作门槛低,新手无需调试。
低功耗 10W 节能电机,空载、间歇运行耗电低,实验室全天使用电费成本低廉。
简易维护结构,损耗件仅橡胶隔膜、单向阀片,拆装无需专用工具,更换耗材步骤简单。
出厂统一真空性能标定,同型号泵抽速、极限真空一致性稳定,多条产线配套数据可对标。
半导体电子产线,晶圆、芯片真空吸盘搬运、真空镊子拾取微小元器件、探针台吸附固定。
实验室研发,树脂 / 胶水真空脱泡、固液负压抽滤、微量样品浓缩处理。
医疗设备配套,生化分析仪负压系统、小型灭菌设备、便携手术吸引装置。
印刷、包装设备,印刷机纸张吸附输送、小型自动包装机开袋负压工装。
光学加工工位,小型光学镜片预处理、薄膜吸附固定、镜头清洗负压抽吸。
小型自动化工装,模具吸附、微型物料定位负压腔体配套抽气。
高校理化实验室,真空负压教学实验、小样前处理脱气配套设备。
精密检测设备内置,小型测试腔体维持稳定低真空环境。
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