描述：日本OSAKA VACUUM 无油干式螺杆真空泵
本设备为大阪真空 DSP 系列紧凑型大流量干式螺杆真空泵，整机取消传统同步齿轮结构，实现全程无油运行，排气洁净无油雾返流，保障腔体内部无油脂污染，适配对洁净度要求严苛的精密设备真空抽取。整机采用一体式风冷散热设计，无需配套冷却水循环机组，现场安装无需铺设水路管路；机身标配气镇阀结构，可高效排出工艺水汽、溶剂蒸汽，避免转子内部水汽凝结锈蚀。

日本OSAKA VACUUM 无油干式螺杆真空泵

基础核心参数

1. 整机型号：DSP501 紧凑型无油干式螺杆真空泵

2. 抽气速率（氮气基准）：无气镇 500L/min；开启气镇 430L/min

3. 极限真空度：无气镇 0.5Pa；开启气镇 2Pa

4. 转子结构：无同步齿轮螺杆式，全程无润滑油脂

5. 冷却方式：整机强制风冷，无需冷却水

6. 气路接口：吸气口 KF40 标准法兰；排气口 KF25 法兰

7. 标配配置：内置气镇阀、大气旁通阀、水气分离结构

8. 供电规格：单相 AC100V～230V 宽电压自适应，50/60Hz

9. 额定输入功率：1.5kW

10. 整机自重：21kg

11. 整机占地面积：230mm×450mm

12. 运行噪音：低于 62dB，外壳内置隔音棉

13. 控制功能：数显运行参数、过载 / 过热故障报警、RS485 通讯输出

14. 耐受工况：可处理含水汽、低浓度有机溶剂中性工艺气体

15. 合规认证：CE、SEMI 安全标准，适配半导体实验室洁净环境

16. 运行环境：5℃～40℃，无尘无强腐蚀蒸汽室内工况

日本OSAKA VACUUM 无油干式螺杆真空泵

核心功能特点

1. 无同步齿轮免润滑结构，泵腔全程无油，杜绝油雾返流污染样品与腔体，满足半导体、电镜超高洁净真空要求

2. 大流量 500L/min 抽速，快速将腔体从大气压抽至低真空，缩短设备待机抽气时长，提升设备稼动率

3. 标配气镇阀水气分离系统，热处理、镀膜含水汽工艺可稳定运行，防止转子锈蚀、真空度衰减

4. 一体式风冷免水设计，老旧实验室、小型产线无需配套冷水机，大幅降低现场改造施工成本

5. 动平衡优化螺杆转子，排气无脉动，整机低振动低噪音，放置电镜旁不会干扰成像精度

6. 顶部双提手便携结构，单人可搬运转移设备，多台仪器共用轮换使用，设备复用率更高

7. 数字智能控制面板，实时显示真空、温度、负载状态，故障自动停机并报警，保护泵体核心组件

8. 内置大气旁通回路，停机自动平衡内外压力，避免腔体负压倒吸粉尘、水汽

9. 宽幅单相通用电压，国内厂区、海外实验室均可直接适配，无需额外升压降压变压器

10. 低功耗节能运行，极限真空区间功率自动降低，长期连续使用减少电力消耗与发热

适用场景

1. 扫描电镜、透射电镜等大型电子显微镜，前置低真空抽气供给，保障镜筒无油脂污染成像清晰

2. 实验室薄膜沉积、溅射镀膜设备，腔体洁净真空抽取，防止膜层出现针孔、杂质缺陷

3. 管式气氛烧结炉、热处理光亮退火炉，置换炉内空气、抽取工艺保护气氛

4. 锂电池粉体、电解液研发实验室，粉体脱气、浆料真空搅拌配套真空源

5. 理化分析仪器、凝胶冻干设备，低真空处理脱气、干燥工艺配套

6. 半导体零部件加工车间，小型腔体、载片腔洁净真空抽取，规避油脂污染芯片

7. 高校材料、微电子科研实验室，真空管式炉、蒸镀设备配套便携干泵

8. 第三方真空检测机构，上门配套各类小型真空设备，便携移动快速搭建真空系统