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2026-07-17
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本理音RION 耐腐蚀液中微粒子传感器
工作原理：激光照射流体中的微粒产生散射光，光电元件采集光信号换算不同粒径颗粒数量；设备存储粒径通道、流体流量、测量时序完整数据，导出报表用于高纯药液品质工艺复盘。
最小可测粒径：0.02μm
粒径设置区间：0.02μm～0.08μm，支持 2～7 通道自定义
额定流体流量：10mL/min
最大耐受颗粒浓度：50000 个 /mL
接触液体材质：蓝宝石、PFA，适配多种腐蚀性试剂
光学光源：532nm 固体激光器
测量模式：离线批次采样、产线在线监测两用
供电规格：AC100～240V 宽电压输入
使用环境：15～35℃，湿度≤80% RH 无凝露，半导体洁净车间、电子化学品实验室
蓝宝石流动池具备优良耐蚀性能，覆盖多种半导体清洗、蚀刻药液检测需求。
0.02μm 微小颗粒识别能力，匹配先进制程高纯化学品品质管控标准。
多通道粒径自由配置，可根据管控标准灵活设置颗粒分级区间。
一机兼顾离线取样检测与产线管路在线监测，适配不同工序布局。
稳定激光光学系统，长期连续监测条件下计数结果重复性良好。
流体管路拆装简易，便于完成管路冲洗，避免样品交叉污染。
可搭配自动进样装置，实现无人值守批量样品测试，提升检测效率。
标准信号通讯接口，便于接入工厂制程数据采集体系。
机身结构稳固，适合洁净车间固定安装，振动环境下维持光路稳定。
完整药液检测台账留存，颗粒浓度原始测量记录可回溯，半导体工厂化学品管控项目验收可直接调取微粒监测记录。
半导体晶圆行业：各类蚀刻液、清洗药液微粒污染监测。
电子化学品工位：高纯试剂、剥离液、显影液出厂颗粒指标检验。
洁净流体实验室：超纯水、有机溶剂微小颗粒含量对比测试。
新材料企业：光伏、面板制造所用高纯化学原料品质筛查。
第三方检测机构：参照行业标准完成腐蚀性药液微粒分析。
高校半导体实训实验室，高纯药液微粒检测教学配套设备。
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