描述：日本KASHIYAMA 洁净无油干式真空泵
本设备为日本 KASHIYAMA 樫山工业 MU100 干式真空泵，采用干式无油转子结构，运转过程无需润滑油，不会产生油雾污染真空腔体与工件，契合各类高洁净制程要求。整机优化转子结构，运行振动幅度低，机身紧凑轻巧，便于集成至镀膜设备、实验腔体、半导体配套装置内部。

基础核心参数

1. 工作原理：电机驱动转子做同步回转运动，依靠腔体容积周期性变化完成气体吸入与排出；无油结构保障气流洁净，可选氮气吹扫抑制介质析出附着；设备存储真空工艺方案，导出记录用于制程工艺复盘。

2. 型号：MU100 无油干式真空泵

3. 运转形式：干式转子结构，全程无需工作油液

4. 洁净特性：无油排气，不存在油蒸气污染真空腔体

5. 拓展配置：支持外接氮气吹扫管路，抵御水汽与粉尘堆积

6. 机体特征：轻量化紧凑箱体，便于设备内部嵌入安装

7. 运行表现：振动控制优良，长时间连续运转真空稳定性良好

8. 供电形式：三相交流供电，适配工业通用供电规范

9. 防护能力：密闭腔体结构，减少外部粉尘侵入内部传动机构

10. 使用环境：常温洁净车间区间，湿度无凝露，光学镀膜、半导体制程、实验室真空腔体工位

日本KASHIYAMA 洁净无油干式真空泵

核心功能特点

1. 干式无油设计，避免油雾回流污染腔体，满足精密工件洁净加工要求。

2. 紧凑轻量化机身，对比同规格真空设备占用空间更小，方便成套设备集成布局。

3. 转子运动曲线优化，运行振动平稳，减少对精密腔体、光学组件的振动干扰。

4. 可增设氮气吹扫功能，带走水汽与反应副产物，降低腔体内部结垢风险。

5. 持续稳定抽气能力，适合间歇抽真空与全天候不间断连续运行两种工况。

6. 排气不含油污，无需复杂油气分离装置，简化现场管路配套布局。

7. 模块化结构，转子、密封组件便于单独更换，降低长期运维成本。

8. 噪音水平控制合理，多台设备并排布置不会过度干扰车间作业环境。

9. 标准化进出气法兰接口，快速对接真空腔体、管路过滤器等附属组件。

10. 完整产线质控台账留存，真空设备运维记录可回溯，真空工艺调试、设备集成改造、周期性性能校验项目可直接调取管控记录。

适用场景

1. 光学镀膜行业：光学镜片、薄膜沉积设备腔体真空抽吸，维持镀膜洁净环境。

2. 半导体工位：小型工艺腔体、传输腔体负压供给，元器件制程真空配套。

3. 新材料研发领域：气氛炉、烧结腔体真空置换，样品热处理前期抽气作业。

4. 理化实验室领域：真空干燥、样品脱气、小型实验腔体负压环境搭建。

5. 自动化设备集成商：镀膜、真空处理成套设备配套核心干式真空单元。

6. 工艺工程师、设备运维班组，洁净制程配套无油干式真空抽吸设备。