描述：日本FUJI technology 两段式排气真空蝶阀
本产品为日本 FUJItechnology 富士科技 BV‑NW63AXON 气动真空蝶阀，属于两段开度式真空蝶阀，区别普通单一位蝶阀，可实现半开慢抽与全开快抽两种工作状态，一只阀即可完成腔体粗抽、高速抽气流程，简化真空管路布局。阀体采用 NW63 标准卡箍法兰接口，拆装维护便捷；阀体内腔电解抛光处理，放气率低，满足半导体设备洁净工况。

基础核心参数

1. 型号：BV‑NW63AXON

2. 设备类型：两段开度气动真空蝶阀

3. 法兰规格：NW63 卡箍法兰

4. 驱动方式：气动执行器，洁净压缩空气驱动

5. 供气压力：0.4‑0.6MPa

6. 阀门开度：全闭、半开 (0‑45°)、全开 (90°) 三位置

7. 信号输出：微型限位开关，输出全闭、半开、全开位置反馈信号

8. 阀体材质：不锈钢，内腔电解抛光

9. 密封材质：真空专用橡胶密封圈

   10. 适用真空区间：高真空工况

   11. 工作温度：‑20～80℃

   12. 接口螺纹：Rc1/8 供气接口

   13. 整机外形尺寸：129×83×200mm

   14. 整机重量：约 6.1kg

   15. 标准配件：蝶阀主机、操作手册；卡箍、密封圈、气源管件另行选配

日本FUJI technology 两段式排气真空蝶阀

核心功能特点

1. 两段开度结构，半开慢抽防止粉尘飞溅，全开实现高速抽气，单阀兼顾慢抽与快抽，减少管路阀门数量，简化系统设计。

2. NW63 标准卡箍法兰，拆装方便，适配市面通用真空管路配件，现场替换改造便捷。

3. 内置位置限位开关，可反馈阀门实际位置，方便设备做联锁保护，规避误操作损伤腔体工件。

4. 阀体内部电解抛光，低放气，无粉尘析出，适配半导体、镀膜类洁净真空设备。

5. 大通流设计，流导优异，降低管路阻力，提升真空泵组抽气效率。

6. 气动驱动，启闭动作迅速，适配自动化真空设备时序控制。

7. 阀体厚度小，轴向占用空间少，狭小设备腔体内部也可完成安装布置。

8. 真空级密封组件，抗老化，适合设备长期反复启闭循环使用。

9. 对气源仅要求干燥洁净压缩空气，无需复杂气源处理，现场部署简单。

   10. 可用于新机配套，也可对原有真空管路做阀件升级替换。

适用场景