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日本KOSAKA 半导体晶圆形貌检出器

描述:日本KOSAKA 半导体晶圆形貌检出器
本产品为日本 KOSAKA 小坂研究所成套接触式形貌测量组件,由 MCX‑02625‑04 信号处理单元与 PU‑UG5SC 接触检出测头组合配套使用,依靠杠杆式接触探针拾取工件表面微观起伏,将 Z 向位移转变为电信号,完成轮廓、台阶高度、粗糙度相关检测工作。测头支持测定力可调,降低软质样品被探针压伤的风险,搭配不同规格触针臂可以改变有效测量行程。

  • 产品型号:MCX‑02625‑04
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-08-07
  • 访问量:10
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本KOSAKA 半导体晶圆形貌检出器

基础核心参数

  1. 型号:MCX‑02625‑04(信号单元)+ PU‑UG5SC(接触检出测头)

  2. 设备类型:接触式轮廓粗糙度测量检出组件

  3. 品牌:KOSAKA 小坂研究所(日本)

  4. PU‑UG5SC 测定力:100mN 以内可调节

  5. Z 向测量行程:最大 1800μm(配套 B 型触针臂)

  6. 探针形式:金刚石材质触针,可更换不同规格触针臂

  7. 适配主机:EC2500、EC2700H、EC3300P、EC4100H、EC5100H、EC6100 系列轮廓测量设备

  8. MCX‑02625‑04 功能:信号放大、信号转换,测头信号调理输出

  9. 连接形式:螺旋卷曲线缆,专用航空接头对接

  10. 工作环境温度:10‑35℃,无凝露,低粉尘环境

  11. PU‑UG5SC 测头本体重量:约 0.32kg

  12. MCX‑02625‑04 单元重量:约 0.45kg

  13. 标配配件:PU‑UG5SC 测头、MCX‑02625‑04 信号单元、螺旋连接线缆、操作手册;各类触针臂、金刚石测针另行选配

日本KOSAKA 半导体晶圆形貌检出器

核心功能特点

1. 测定力可调节,针对薄膜、软质涂层样品,调低接触压力,减少探针压痕,保护被测工件表面。
2. 搭配 B 型触针臂可实现较大 Z 向行程,台阶高度、深沟槽样品可以完整采集形貌数据,不用更换测头本体。
3. 整套组件专为 EC 系列轮廓粗糙度仪匹配,信号单元完成微弱传感信号放大转换,输出信号和主机系统适配。
4. 探针、触针臂可单独拆装更换,磨损之后仅更换探针部件,无需整体更换整套检出器,降低使用成本。
5. 卷曲螺旋线缆,跟随测头往复运动,抗反复弯折,减少线缆断裂故障。
6. 杠杆式机械结构,运动顺滑,减少机械回差,微观轮廓细节还原度较好。
7. 兼顾硬质金属工件,也适配半导体晶圆、光学膜片、涂层薄膜等精密样品检测。
8. 测头本体结构紧凑,设备内部安装占用空间小,仪器内部拆装维护便捷。
9. 可用于实验室样品分析,也用于产线抽检工位,完成工件表面形貌评价。
10. 整套检出组件可直接作为设备备件,替换老旧同规格测头与信号单元,恢复仪器测量性能。

适用场景

1. 半导体行业,晶圆、镀膜基板台阶高度、表面轮廓检测。
2. 光学行业,光学镜片、功能薄膜微观形貌、涂层厚度台阶测量。
3. 精密机械加工,零部件轮廓、表面粗糙度、微小沟槽尺寸评价。
4. 材料实验室,各类涂层、复合材料样品表面形貌测试分析。
5. 显示面板行业,基板、膜层台阶与微细轮廓检测。
6. 原有轮廓仪检出器、信号单元老化损坏,现场备件替换。
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