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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本KOSAKA 半导体晶圆形貌检出器
型号:MCX‑02625‑04(信号单元)+ PU‑UG5SC(接触检出测头)
设备类型:接触式轮廓粗糙度测量检出组件
品牌:KOSAKA 小坂研究所(日本)
PU‑UG5SC 测定力:100mN 以内可调节
Z 向测量行程:最大 1800μm(配套 B 型触针臂)
探针形式:金刚石材质触针,可更换不同规格触针臂
适配主机:EC2500、EC2700H、EC3300P、EC4100H、EC5100H、EC6100 系列轮廓测量设备
MCX‑02625‑04 功能:信号放大、信号转换,测头信号调理输出
连接形式:螺旋卷曲线缆,专用航空接头对接
工作环境温度:10‑35℃,无凝露,低粉尘环境
PU‑UG5SC 测头本体重量:约 0.32kg
MCX‑02625‑04 单元重量:约 0.45kg
标配配件:PU‑UG5SC 测头、MCX‑02625‑04 信号单元、螺旋连接线缆、操作手册;各类触针臂、金刚石测针另行选配
日本KOSAKA 半导体晶圆形貌检出器
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