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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本Spectronix 8W 深紫外皮秒激光设备
型号:LDH‑X0810
设备类型:8W DUV 皮秒激光器
品牌:Spectronix
作业对象:各类材料深紫外精密微加工、打孔、刻蚀、剥离等工艺
工作方式:皮秒脉冲激光振荡,输出深紫外 DUV 光束
输出形式:激光光束输出,可对接外部控制信号,反馈设备状态信号
安装形式:机架固定,集成于激光加工设备内部
工作环境:设备机柜内部,低粉尘,规避振动、凝露
可选配置:光学配件、光束整形模组、信号连接线缆另行选配
标配配件:激光器本体、操作手册;光学配套组件另行选配
皮秒短脉冲输出,实现冷加工效果,降低加工部位热形变影响
深紫外 DUV 波段,可对多种材质完成高精度微处理作业
输出功率可达 8W,兼顾加工精度与加工效率
整机集成化设计,便于嵌入各类精密加工设备内部使用
可对接外部控制系统,实现激光启停、状态信号交互
光束稳定性好,适合产线长时间连续加工工况
具备设备状态监测,可输出故障信息,方便现场维护排查
光学耗材配件可单独维护更换,降低整机更换的运维投入
半导体行业,晶圆、薄膜材料微刻蚀、薄膜剥离精密加工
精密电子行业,基材打孔、轮廓微切割,实现无热损伤加工
新材料研发,各类试样深紫外激光微处理工艺试验
光学零部件制造,高精度细微结构加工处理
自动化加工设备配套,作为加工光源,输出设备异常报警信号
原有皮秒激光器功率衰减,现场备件替换升级
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