描述：日本nissin 等离子激励微波振荡器
MPS‑17A 为日新 nissin 等离子激励专用微波振荡器，整机采用分体结构，电源单元与磁控管振荡单元相互分离，全部采用强制空冷散热，无需外接水冷系统。输出低纹波微波能量，功率连续可调，输出稳定性好，保障等离子稳定起辉维持，具备保护机制，支持远程通讯控制，方便集成进各类等离子处理设备，多用于半导体、材料研发、表面处理等科研与工业工艺场景。

核心参数

1. 设备型号：MPS‑17A

2. 振荡频率：2450MHz

3. 额定输出功率：1700W，可调区间 200‑1700W

4. 输出稳定度：输入电压波动条件下 ±2% 以内

5. 冷却方式：整机强制空冷，电源部、振荡部均为空冷

6. 输入供电：三相 190‑220V，50/60Hz

7. 输入容量：4.5kVA 以下

8. 配套振荡单元：MG‑10T 磁控管振荡组件

9. 控制方式：本地面板操作，支持外部远程接口控制

10. 保护功能：风扇故障、过温、过流过压、外部联锁、磁控管灯丝断路保护

11. 电源部外形尺寸：430×482×169mm

12. 电源部重量：25kg

13. 振荡单元重量：13kg

14. 使用环境：0‑35℃，无冷凝结露

15. 标配配件：电源主机、振荡单元、连接线缆、操作说明书

16. 选配配件：功率监测组件、匹配器 TBR‑2A2、远程控制套件

日本nissin 等离子激励微波振荡器

核心功能特点

1. 分体模块化设计，电源主机与振荡单元分离摆放，设备布局灵活，便于设备集成改造。

2. 全空冷散热方案，不用配置冷却水循环机组，降低现场配套成本，维护工作简单。

3. 低纹波逆变输出，功率连续可调，等离子起辉稳定，工艺重复性表现良好。

4. 多重故障保护逻辑，风扇异常、过热、过流过压、联锁异常均可触发停机保护，保护磁控管等核心部件。

5. 支持本地面板操作与外部远程接口控制，适配自动化产线，可实现设备启停、功率外部调节。

6. 两种功率控制模式可选，输入功率控制，或搭配功率监视器实现入射功率反馈修正控制。

7. 整机轻量化，电源单元、振荡单元重量可控，机柜机架安装、台式摆放均可实现。

8. 工业级整机耐受，可长时间连续运行，适配实验室小试以及工业批量工艺使用。

适用场景

1. 半导体行业，等离子清洗、等离子刻蚀设备微波激励源。

2. 材料科研，微波等离子体材料改性、材料烧结、气相合成工艺。

3. 高校科研院所，等离子相关实验平台搭建，微波等离子体工艺研究。

4. 表面处理工艺，材料表面活化、改性、除胶处理设备配套。

5. 化学工艺，微波等离子体分解、还原、合成实验装置。

6. 需要 2450MHz 微波激励的各类等离子工艺设备集成配套。