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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本松定matsusada 静电吸盘双极性高压电源
核心参数
产品型号:HJC 系列
产品类型:静电吸盘专用双极性高压电源
输出特性:双极性正负高压输出,极性可切换
控制方式:本地面板控制、远程信号控制
显示方式:数字显示屏
接口配置:高压输出接口、控制信号接口
机箱形式:台式金属机箱,自带散热风道
供电:AC 交流输入
工作环境:温度 10‑35℃,湿度 20‑70% RH,无粉尘无强电磁干扰
日本松定matsusada 静电吸盘双极性高压电源
功能特点
双极性高压输出,满足静电吸盘吸附与释放工艺需求。
支持本地面板操作以及远程信号控制,适配设备集成。
数字屏幕实时显示输出状态,运行参数一目了然。
机箱配备散热风道,长时间连续工作散热性能良好。
输出电压稳定,电压波动小,保障吸盘吸附力均匀。
具备极性切换功能,适配不同工艺步骤切换。
台式箱体设计,可放置工作台,也可用于机柜集成。
具备相应保护机制,提升设备运行安全性。
接口布局清晰,接线调试操作便捷。
专为静电吸盘工况优化,适配半导体制程配套。
适用场景
半导体设备晶圆静电吸盘驱动供电。
晶圆加工工艺,静电吸附工位配套电源。
实验室静电吸附装置高压供电。
各类需要双极性高压输出的工艺设备配套。
半导体研发设备集成配套使用。
新材料实验静电吸附试样固定工况。
精密工艺设备高压供电改造配套。
小批量研发产线静电吸盘工位供电。
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