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日本松定matsusada 机架式静电吸盘驱动电源

描述：日本松定matsusada 机架式静电吸盘驱动电源
标准机架安装式双通道高压供电设备，专为静电吸盘工艺开发，具备两路相互独立的高压输出通道，可同时输出两路高压信号，适配多分区静电吸盘的使用需求。设备搭载液晶显示屏，能够分别显示两路通道的运行参数，面板配置调节旋钮与操作按键，支持本地面板操控，同时兼容远程控制模式，便于集成到整套工艺设备当中。

  • 产品型号：HECD 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-26
  • 访问量：14
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本松定matsusada 机架式静电吸盘驱动电源

核心参数

  • 产品型号：HECD 系列

  • 产品类型：静电吸盘专用双通道高压电源

  • 输出特性：双通道独立高压输出，两路通道可分别设置

  • 机箱规格：标准机架安装金属机箱

  • 显示方式：液晶显示屏，双通道参数同步显示

  • 控制方式：本地面板控制、远程信号控制

  • 接口配置：双路高压输出接口、远程通讯控制接口

  • 供电：AC 交流输入

  • 工作环境：温度 10‑35℃，湿度 20‑70% RH，无尘、低电磁干扰环境

日本松定matsusada 机架式静电吸盘驱动电源

功能特点

  1. 双通道独立高压输出，适配分区式静电吸盘工况。

  2. 液晶屏幕同时展示两路通道运行数据，状态直观。

  3. 支持本地手动调节以及远程控制，方便设备集成。

  4. 标准机架机箱，可直接安装于设备机柜内部。

  5. 每一路通道参数可独立配置，工艺适配性强。

  6. 输出电压平稳，保障静电吸盘吸附力均匀稳定。

  7. 具备对应保护机制，降低异常工况带来的设备风险。

  8. 面板按键、旋钮布局清晰，调试设置简单便捷。

  9. 机箱散热结构优良，适合长时间连续工艺运行。10. 针对半导体静电吸盘工况做专项优化匹配。

适用场景

  1. 半导体设备分区式晶圆静电吸盘驱动供电。

  2. 晶圆处理工艺，双路静电吸附工位配套供电。

  3. 半导体研发设备机柜集成配套使用。

  4. 实验室多通道静电吸附装置高压供电。

  5. 各类需要两路独立高压输出的工艺设备配套。

  6. 新材料实验分区静电吸附试样固定工况。

  7. 精密工艺设备高压供电改造配套。

  8. 研发型小产线静电吸盘工位供电。

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