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日本松定matsusada 半导体制程高压驱动电源

描述：日本松定matsusada 半导体制程高压驱动电源
标准机架式双极性高压供电设备，面向静电吸盘工艺场景开发，支持正负极性高压输出切换，满足晶圆吸附与释放的工艺动作需求。设备配置数字显示窗口，可直观查看输出状态，同时具备本地面板操作与远程控制两种工作模式，方便集成至整套半导体工艺设备内部。整机为机架机箱结构，散热体系完整，输出电压平稳，极性切换响应迅速，能够适配长时间连续生产工况。

  • 产品型号：HECA 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-26
  • 访问量：21
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本松定matsusada 半导体制程高压驱动电源

核心参数

  • 产品型号：HECA 系列

  • 产品类型：静电吸盘专用双极性高压电源

  • 输出特性：双极性高压输出，输出极性可切换

  • 机箱规格：标准机架安装金属机箱

  • 显示方式：数字显示屏

  • 控制方式：本地面板控制、远程信号控制

  • 接口配置：高压输出接口、远程控制信号接口

  • 供电：AC 交流输入

  • 工作环境：温度 10‑35℃，湿度 20‑70% RH，无尘低电磁干扰环境

日本松定matsusada 半导体制程高压驱动电源

功能特点

  1. 双极性高压输出，可完成静电吸盘吸附、释放工艺切换。

  2. 数字屏幕实时显示输出状态，运行参数清晰可见。

  3. 本地、远程两种控制模式，便于设备系统集成。

  4. 标准机架机箱，支持机柜内部安装摆放。

  5. 输出电压稳定性好，保障吸盘吸附力均匀。

  6. 极性切换响应快，适配工艺工序快速切换。

  7. 具备保护机制，规避异常工况带来的设备风险。

  8. 前面板接口布局简洁，调试接线操作便捷。

  9. 机箱散热设计优良，适合长时间连续运行作业。10. 针对静电吸盘应用做专项适配优化。

适用场景

  1. 半导体设备晶圆静电吸盘驱动供电。

  2. 晶圆处理工艺静电吸附工位配套供电。

  3. 半导体工艺设备机柜集成配套使用。

  4. 实验室静电吸附装置高压供电实验。

  5. 需要极性切换高压输出的工艺设备配套。

  6. 新材料实验静电吸附试样固定工况。

  7. 精密工艺设备高压供电改造配套。

  8. 研发型小产线静电吸盘工位供电。

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