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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本堀场horiba 光纤非接触化学药液浓度计
核心参数
产品型号：CS‑900F
测量原理：紫外‑可见‑近红外吸收光谱法，温度补偿多元分析算法
适配管路：3/4 英寸、1 英寸标准 PFA 管路，不可使用抗静电 PFA 管
可测药液：氨水、TMAH、磷酸、硝酸等半导体湿法药液
药液温度：20‑80℃，高温药液无需预处理
测量间隔：3 秒，内置 16 次移动平均降噪
典型重复性：H₂O₂ ±0.10%；NH₃ ±0.05%（依据药液组分）
整机供电：DC24V，功耗 30‑40W
输出接口：4‑20mA 模拟输出、RS‑232C、并行 I/O
主机尺寸：217×290×173mm，重量 5.8kg
传感单元尺寸：186×142×83mm，重量 1.4kg
光源类型：LED 光源，设计使用寿命 5 年
认证标准：SEMI S2、CE、FCC、UKCA 认证
日本堀场horiba 光纤非接触化学药液浓度计
功能特点
非接触夹装测量，传感部件不接触药液，杜绝污染、腐蚀，减少耗材更换。
光纤分体结构，光谱模块放置主机，现场传感单元体积大幅缩小，适配设备紧凑空间布局。
光谱覆盖范围提升，支持更多种类湿法制程化学药液，兼容多组分混合药液解析。
可直接测量 80℃高温药液，不需要增设降温回路，简化产线管路改造。
温度补偿多元解析算法，抵消温度、气泡、流体扰动干扰，测量结果稳定可靠。
无需切断管路即可完成安装，缩短产线停机改造时间，维护作业便捷。
LED 光源长效耐用，五年周期内无需频繁更换光源组件，降低运维成本。
实时输出浓度数据，支持模拟、数字多类接口，方便对接 PLC、设备主控系统。
内置移动平均滤波算法，抑制管路气泡、流体波动造成的数据跳动。10. 满足半导体车间安全规范，适配无尘车间工况，适配 24 小时不间断连续运行。
适用场景
半导体晶圆清洗工艺，SC‑1、SC‑2 清洗药液浓度在线实时监控。
蚀刻制程车间，磷酸、硝酸等蚀刻药液浓度监测管控。
TMAH 显影工艺，显影药液浓度连续监测，稳定显影工艺效果。
光伏、面板行业湿法槽体，氨水混合药液浓度检测。
半导体设备集成商，机台内置式药液浓度监测模块配套。
新材料湿法处理工序，各类高纯化学药液在线浓度分析。
化工高纯试剂生产，管路循环药液非侵入浓度检测。
实验室湿法工艺研发，高温化学药液浓度连续采集。
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