描述：日本堀场horiba 非接触化学药液浓度计
日本 horiba 堀场 CS‑900 非接触式化学药液浓度计，半导体湿法制程标准在线监测设备，传感单元直接夹持在 PFA 管路外壁，传感器不侵入药液内部，规避金属析出、管路渗漏造成晶圆污染。设备光源与分光模块集成于传感单元，无需光纤布线，适配机台有限安装空间。依托吸收光谱检测原理搭配温度补偿多元解析算法，可直接检测最高 80℃高温工艺药液。

日本堀场horiba 非接触化学药液浓度计

核心参数

• 产品型号：CS‑900

• 测量原理：紫外‑可见吸收光谱法，温度补偿多元分析算法

• 适配管路：3/4 英寸、1 英寸 PFA 管路，禁止防静电 PFA 管

• 药液温度：20‑80℃高温药液可直接测量HORIBA

• 测量周期：3 秒，内置 16 次移动平均滤波降噪HORIBA

• 测量重复性：H₂O₂ ±0.10%；NH₃ ±0.05%（随药液规格变化）

• 样品压力：≤0.2MPa (G)，压力波动≤0.02MPa

• 供电规格：DC24V，整机功耗约 30W

• 输出接口：4‑20mA 模拟输出、RS‑232C、并行 I/O 接口

• 显示单元尺寸：96×135×96mm，重量约 0.9kg，面板嵌入式安装

• 传感单元尺寸：238×135×190mm，重量约 2.9kg

• 光源寿命：LED 光源设计使用寿命 5 年

日本堀场horiba 非接触化学药液浓度计

功能特点

1. 夹装式非接触测量，传感部件不接触化学药液，消除腐蚀、析出污染风险，无接触耗材。

2. 一体化传感单元，光源分光组件内置传感器，无需光纤，布线简单，适配设备狭小空间布局。

3. 支持 80℃高温药液直接检测，无需配套冷却装置，简化产线管路改造。

4. 温度补偿多元解析算法，抵消温度波动、流体气泡带来干扰，保证混合药液测量稳定性。

5. 无需切断原有管路即可完成夹持安装，缩短产线停机改造时长，现场部署便捷。

6. LED 光源使用寿命长，5 年周期内无需频繁更换光源组件，降低长期运维成本。

7. 3 秒快速测量，搭配移动平均滤波，抑制流体扰动造成的数据跳动，输出稳定浓度数值。

8. 面板式显示单元，支持机柜嵌入式安装，适配半导体设备控制柜布局。

9. 多类型信号输出，模拟、数字接口齐全，可直接对接 PLC、产线主控系统，实现闭环工艺控制。

10. 满足半导体车间工况，支持设备 24 小时不间断连续运行，适配晶圆产线长时间生产。

适用场景

1. 半导体晶圆清洗工序，SC‑1、SC‑1 清洗混合药液在线浓度实时监控。

2. 蚀刻工艺车间，磷酸、硝酸等各类蚀刻药液浓度持续监测管控。

3. TMAH 光刻显影工序，显影药液浓度监测，稳定光刻显影工艺效果。

4. 面板、光伏湿法槽体，氨水混合药液浓度在线检测。

5. 半导体设备集成配套，机台内置式药液浓度监测模块集成。

6. 高纯湿化学品生产，循环管路内化学药液非侵入式浓度检测。

7. 新材料湿法处理工艺，各类高纯腐蚀、清洗药液浓度监控。

8. 科研实验室，高温混合化学药液连续浓度采集实验。