描述：日本无机半导体用 ULPA 空气过滤器AST-36-90 为日本无机 NIPPONMUKI 超高效 ULPA 过滤器，专为半导体洁净室设计，对 0.12μm 微粒超高捕集效率，低发尘、低放气。玻纤滤材，密封耐化学，适配层流单元。安装密封不良、前端预滤失效、气流冲击会降低寿命。用于半导体制造无尘室、光刻、镀膜工序末端空气净化。

产品型号：AST-36-90
厂商性质：代理商
更新时间：2026-09-09
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本无机半导体用 ULPA 空气过滤器

AST-36-90 是 NIPPONMUKI 日本无机 AST 系列 ULPA 超高效空气过滤器，面向半导体洁净工艺开发，用于洁净室 FFU 层流风机单元、工艺设备内部末端空气过滤，捕捉空气中亚微米级悬浮颗粒，保护晶圆、光罩不受粉尘污染，是半导体光刻、刻蚀、镀膜工序洁净系统核心过滤组件。产品优势：

ULPA 超高效等级，针对 0.12μm 微小粒子具备捕集效率，满足半导体高级别洁净室要求，有效控制亚微米颗粒污染，降低晶圆颗粒缺陷不良率。滤材采用特殊玻璃纤维材质，本身发尘量极低，同时低放气，减少有机物挥发对工艺腔体、光学元件的污染。
结构稳定性强，滤材采用精密折褶工艺，在额定风量下阻力稳定，容尘量优秀，使用寿命更长；密封胶耐化学、耐温性能良好，洁净室内不易老化开裂，防止旁路漏风。
出厂逐台扫描检漏，保障无针孔漏点，避免单点泄漏造成洁净度失效；适配标准 FFU 安装尺寸，替换安装便捷，便于无尘车间维护更换。
低阻力设计，降低风机运行负荷，节约洁净厂房能耗；滤板抗气流冲击，在气流波动工况下滤材不易破损。
适配半导体行业严苛洁净管控，可用于工艺设备内部局部净化，不限于房间级洁净室，适用场景灵活。

参考技术数据：型号 AST-36-90；类型 ULPA 超高效过滤器；针对 0.12μm 微粒；低发尘低放气；玻璃纤维滤材；配套 FFU 层流单元；出厂逐台检漏。

适用场景：半导体无尘车间 FFU 层流单元；光刻、镀膜、刻蚀设备内部局部净化；光罩存储柜、晶圆传送腔空气过滤；光学器件制造洁净环境；生物医药超高洁净车间；精密检测设备内部空气净化。使用局限：前端必须配置预过滤器，延长使用寿命；安装时密封胶条需要检查，防止侧漏；搬运、安装避免撞击挤压滤材；在含强酸、强碱腐蚀性气体工况不可使用。

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