描述：GENIUS智控GT800真空自适应蝶阀GENIUS GT800 为阀体与控制器一体化真空自适应节流蝶阀，型号 ISO100ARI8-4A，ISO100 法兰接口，内置 PID 与自适应自整定算法。通过步进电机调节蝶阀开度，实现工艺腔体真空压力闭环稳定控制，自带数码管显示，配置 DB9 真空规输入、DB15 通讯 IO 接口，24VDC 供电。密封采用 FKM 氟橡胶，真空漏率低，抗干扰能力强

GENIUS智控GT800真空自适应蝶阀 GENIUS智控GT800真空自适应蝶阀 

GENIUS GT800 为阀体与控制器一体化真空自适应节流蝶阀，型号 ISO100ARI8-4A，ISO100 法兰接口，内置 PID 与自适应自整定算法。通过步进电机调节蝶阀开度，实现工艺腔体真空压力闭环稳定控制，自带数码管显示，配置 DB9 真空规输入、DB15 通讯 IO 接口，24VDC 供电。密封采用 FKM 氟橡胶，真空漏率低，抗干扰能力强，体积紧凑，便于半导体镀膜、刻蚀、热处理 RTP 设备集成安装。

产品介绍产品细节图实拍整机一体化外观，前面板数码显示屏、操作按键、DB9、DB15 通讯接口；侧面 ISO100 法兰、蝶阀阀瓣腔体；铭牌标识、阀体密封 O 圈位置特写，可直观查看法兰接口、接线端口、整体外形尺寸，方便设备集成对接确认。

产品性能GT800 属于阀控一体真空节流蝶阀，区别于普通开关蝶阀，支持连续开度调节，内置自适应自动调谐算法，可自动适配不同腔体负载，减少人工 PID 参数调试。压力控制重复性可达 0.1% FS，阀瓣分辨率 1/18000，响应迅速。支持 0-10V 模拟量输入输出，RS232/RS485 通讯。适用压力区间 10⁻³~1000mbar，工作环境温度 15~60℃。氦检外部漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，高真空密封性能稳定，可长时间连续运行。

用材外壳采用高强度铝合金一体加工，具备电磁屏蔽、轻量化、耐腐蚀特性。阀板为不锈钢材质，表面抛光处理，减少气体吸附。密封 O 型圈为 FKM 氟橡胶，耐工艺气体腐蚀，耐老化。内部精密步进电机与齿轮传动组件，传动稳定，降低磨损；电路板带屏蔽防护，减少工业环境电磁干扰。法兰为 ISO 标准不锈钢法兰，适配真空管路标准配件。

参数表

表格

型号GT800 为产品系列，ISO100 代表 ISO100 法兰通径；ARI8 为执行器规格，4 代表硬件版本，A 代表 FKM 氟橡胶密封。同系列可提供 NW、CF、ANSI 等多种法兰规格，不同通径按需选型。

用途半导体设备真空腔体压力闭环控制；光学镀膜、PVD/CVD 工艺腔体；RTP 快速热处理设备；真空等离子刻蚀设备；科研实验室真空工艺系统；各类需要精准稳定真空压力控制的真空工艺装备。

包装专用仪器纸箱包装，内部加厚泡沫，防护阀体与控制器，防止运输磕碰损伤。箱内包含阀门整机、连接端子配件、原厂操作手册、规格数据表。法兰密封 O 圈配套放置，单独保护。

使用说明安装前确认管路洁净无粉尘颗粒，法兰安装到位，均匀紧固卡箍。接入 24VDC 电源，连接真空规传感器与上位通讯线路。通电后可在面板设置目标压力，自适应算法自动整定 PID 参数。定期检查 O 圈密封状态，避免粉尘附着阀瓣；禁止超温、腐蚀性强介质直接进入阀体。停机保存保持阀体洁净。