描述：韩国 aets AERA 系列MFC气体质量流量控制器AETS 代理 AERA 品牌 MFC，用于半导体工艺气体精准流量管控，量程覆盖 10~200000SCCM。提供金属密封、Viton 密封两种类型，支持模拟、RS485、DeviceNet 通讯。响应速度快，流量控制稳定，适配腐蚀性、特种工艺气体，广泛用于晶圆制程气体管路。我司可提供选型和校准咨询。

Name: 韩国 aets AERA 系列MFC气体质量流量控制器HG200、FC-R78X、FC-R77X
Brand: 其他品牌
Price: 5000 CNY
Availability: InStock

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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

韩国 aets AERA 系列MFC气体质量流量控制器韩国 aets AERA 系列MFC气体质量流量控制器

产品细节图产品页面可下载实物实拍，包含阀体正面、气体进出接口、电气接头、铭牌特写。设备本体为不锈钢阀体，正面带流量显示窗口，侧边为气体进出口，后端集成信号通讯接头，体积紧凑，适配半导体机台管路集成。

产品性能

用材阀体采用 316L 不锈钢电解抛光处理，内部传感器选用高精度热式传感元件；密封件分氟橡胶、金属密封两种，金属密封可用于高腐蚀、高真空严苛工艺，抗气体腐蚀，泄漏率低。

参数表

表格

型号HG200、FC-R78X、FC-R77X、FC-PAR78X、FC-PAR78XCHT、EPC100 压力控制器。

用途半导体 CVD、刻蚀、ALD 工艺，特种气体输送管路，真空镀膜、LED、光伏制程，实验室气体配比控制。

包装独立防静电袋封装，外层硬质纸箱，内部泡沫固定，配套出厂校准证书、选型手册，接口端配保护堵头，防止运输过程污染阀体内部流道。

使用说明安装前确认气体介质与密封材质匹配；按流向标识接入管路，保证管路洁净无颗粒；连接通讯信号线，接入控制系统；初次使用前做检漏测试。定期进行流量校准，避免杂质沉积影响测量精度。

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