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日本 FUJIKIN 富士金超高纯金属隔膜阀

描述:日本 FUJIKIN 富士金超高纯金属隔膜阀富士金 FINE PURE 系列金属隔膜阀,阀体采用 SUS316L 双熔不锈钢,无油洁净处理,氦检检漏。分为手动、气动驱动,适配超高纯气体、特种腐蚀介质,内外漏率极低。可用于半导体工艺管路、氢能、分析仪器流体回路,阀体流道光滑,颗粒析出少,满足半导体超高纯管路严苛洁净要求。

  • 产品型号:FINE PURE 系列
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-09-29
  • 访问量:17
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 FUJIKIN 富士金超高纯金属隔膜阀日本 FUJIKIN 富士金超高纯金属隔膜阀

产品详情产品细节图可生成阀门整机实拍、阀体剖面结构图、VCR 接头装配特写,浅蓝工业背景,展示阀本体、隔膜组件、执行器、密封接口。

产品性能采用金属隔膜密封结构,流体仅接触阀体与隔膜,无填料密封结构,减少微粒产生。出厂全部氦检漏,外部漏率、阀座漏率控制在极低水平。阀内流道经过电解抛光,内壁光滑,降低介质附着。气动款响应速度稳定,支持上万次启闭循环,高低温工况下密封性能稳定。可适配真空、高纯腐蚀性气体工况。

用材阀体 SUS316L 双熔不锈钢;隔膜为镍基合金;阀座 PCTFE;执行器铝合金;密封垫片镍材质。

参数表

表格

项目参数
型号FUBFN/FWBR 系列
阀体材质SUS316L
最高使用压力1MPa
温度范围-10℃~80℃(高温款可达 300℃)
检漏标准He 检漏 5×10⁻¹² Pa・m³/s
连接方式VCR、金属垫片密封

型号FUBFN 手动波纹管阀、FWBR 高温隔膜阀、FPR 气动隔膜阀,FINE PURE 全系。

用途半导体设备超高纯气体管路、氢能管路、分析仪器、生物医药高纯流体管路,特种腐蚀性气体真空管路控制。

包装防静电盒 + 泡沫固定,阀门本体、防尘保护盖、出厂检测报告、说明书,独立密封包装,防止粉尘污染。

使用说明安装前保护好两端密封接口,避免磕碰划伤密封面。管路焊接完成后再拆除阀门保护盖。气动款按铭牌气压供气,不可超压使用。定期检查隔膜疲劳老化,介质含有颗粒杂质建议前端加装过滤器。储存环境保持干燥洁净。


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