描述：Momentive 迈图静电卡盘 ESC 组件迈图 pBN 热解氮化硼加热器、高温静电卡盘，可在超高真空、高温腐蚀气氛下使用。支持多分区控温，温度均匀性良好，抗热冲击，适配 SiC、GaN 等化合物半导体工艺，可提供模组化成品，减少客户装配调试工作量。

Name: Momentive 迈图静电卡盘 ESC 组件
Brand: 其他品牌
Price: 5600 CNY
Availability: InStock

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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

Momentive 迈图静电卡盘 ESC 组件Momentive 迈图静电卡盘 ESC 组件

简介：迈图 pBN 热解氮化硼加热器、高温静电卡盘，可在超高真空、高温腐蚀气氛下使用。支持多分区控温，温度均匀性良好，抗热冲击，适配 SiC、GaN 等化合物半导体工艺，可提供模组化成品，减少客户装配调试工作量。

产品细节图实拍包含静电卡盘陶瓷本体、pBN 加热件、TaC 涂层石墨组件、电极接线端子、装配模组，陶瓷表面细节特写，尺寸图纸。陶瓷件表面平整，接线端子做绝缘防护，模组集成温控线路。

产品性能pBN 材质静电卡盘可稳定工作于高温真空环境，升温速度快，晶圆温度均匀性优异。TaC 涂层石墨加热器耐腐蚀性工艺气体，最高可在 2200℃稳定工作。支持多分区独立控温，可定制不同尺寸，最大可至 φ320mm，适配离子注入、MOCVD、ALD 等真空制程，抗热冲击，使用寿命稳定。

用材基材：热解氮化硼 pBN、热解石墨 PG；表面涂层：TaC 碳化钽涂层；电极采用耐高温金属材料；绝缘层为高纯陶瓷材料。

参数型号：pBN 加热器、ESC 静电卡盘多规格最高工作温度：pBN‑ESC＞1000℃；TaC 加热器＞2200℃控温特性：多分区独立控温最大可加工尺寸：φ320mm适用环境：超高真空，腐蚀性工艺气体

型号包含 pBN 系列加热器、PG 石墨组件、TaC 涂层加热器、ESC 静电卡盘，可按客户晶圆尺寸定制。

用途化合物半导体、SiC/GaN 器件制造，离子注入、溅射、MOCVD、ALD、RTP、OLED、CIGS 太阳能电池高温制程。

包装独立防震泡沫盒，陶瓷件单独缓冲防护，硬质木箱外箱，附带材质检测报告、出厂性能测试报告。

使用说明1、开箱检查陶瓷件外观，确认无磕碰裂纹；2、按照设备手册完成真空腔内部装配，固定接线端子；3、真空腔体密封检漏，确认真空状态；4、分阶段升温，避免快速剧烈温度冲击；5、按工艺要求设置分区温度参数；6、停机后等待充分降温再开腔，定期检查陶瓷表面状态。

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